[实用新型]一种磁控溅射室观察窗结构有效
| 申请号： | 202023056119.0 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN213835523U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 刘泽利;熊建;饶志刚 | 申请（专利权）人： | 咸宁南玻节能玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/35 |
| 代理公司： | 咸宁鸿信专利代理事务所(普通合伙) 42249 | 代理人： | 阳会用 |
| 地址： | 437000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 观察窗 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射室观察窗结构，其特征在于，包括溅射室壁板(1)、开设在溅射室壁板(1)上的安装孔、可拆卸连接在安装孔处的安装筒(2)和固定在安装筒(2)内的透光玻板(3)，安装筒(2)外侧的溅射室壁板(1)上转动连接有一摇柄(4)，所述摇柄(4)的内端固定设置有一圆形的遮板(5)，所述遮板(5)直径大于透光玻板(3)的直径，所述安装筒(2)内滑动连接有一位于透光玻板(3)的内侧的压紧套(6)，所述压紧套(6)与透明玻板之间连接有一压紧弹簧(7)，所述压紧套(6)与遮板(5)外侧面抵靠。
2.根据权利要求1所述一种磁控溅射室观察窗结构，其特征在于，所述溅射室壁板(1)的外侧面设置有对摇柄(4)进行限位的限位块。
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