[实用新型]一种磁控溅射室观察窗结构

说明书

本实用新型提供了一种磁控溅射室观察窗结构，属于镀膜玻技术领域。包括溅射室壁板、开设在溅射室壁板上的安装孔、可拆卸连接在安装孔处的安装筒和固定在安装筒内的透光玻板，安装筒外侧的溅射室壁板上转动连接有一摇柄，摇柄的内端固定设置有一圆形的遮板，遮板直径大于透光玻板的直径，安装筒内滑动连接有一位于透光玻板的内侧的压紧套，压紧套与透明玻板之间连接有一压紧弹簧，压紧套与遮板外侧面抵靠。本实用新型具有能够防止观察窗被污染等优点。

技术领域

本实用新型属于镀膜玻璃技术领域，涉及一种磁控溅射室观察窗结构。

背景技术

镀膜玻璃通过磁控溅射的方式进行镀膜，其原理是电子在电场的作用下，在飞向基片过程中与把材料的原子发生碰撞，使其电离产生出靶材原料的正离子和新的电子；新电子飞向基片，靶材原料的离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。

为了观察室内工作情况，溅射室上需要设置观察窗，观察窗处设置透明玻璃，在溅射室内部如果不设置对玻璃的遮挡结构，溅射物溅射在玻璃内壁，使玻璃的透光率逐渐削弱，难以达到对室内进行观察的作用。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在的上述问题，提供一种磁控溅射室观察窗结构，本实用新型所要解决的技术问题是如何防止观察玻璃被溅射物污染。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种磁控溅射室观察窗结构，其特征在于，包括溅射室壁板、开设在溅射室壁板上的安装孔、可拆卸连接在安装孔处的安装筒和固定在安装筒内的透光玻板，安装筒外侧的溅射室壁板上转动连接有一摇柄，所述摇柄的内端固定设置有一圆形的遮板，所述遮板直径大于透光玻板的直径，所述安装筒内滑动连接有一位于透光玻板的内侧的压紧套，所述压紧套与透明玻板之间连接有一压紧弹簧，所述压紧套与遮板外侧面抵靠。

进一步的，所述溅射室壁板的外侧面设置有对摇柄进行限位的限位块。

旋转摇柄，使遮板旋转可开启或关闭安装筒内端的开口，以使工作人员可以选择性通过透明玻板外侧观察溅射室内的工作情况，由于观察时间相对较短，溅射过程中对透明玻板的污染相对较少。在透明玻板与遮板之间设置一压紧套，使遮板遮挡透明玻板时能够实现遮板与安装筒内壁之间的密封，确保溅射室内部的溅射物不能够在遮板未开启时对透明玻板进行污染。限位块能够限制摇柄的旋转极限位置，使遮板在开启时也能够对压紧套保持局部压紧，避免压紧套脱离遮板而使遮板无法关闭。

附图说明

图1是本观察窗结构的剖视图。

图中，1、溅射室壁板；2、安装筒；3、透光玻板；4、摇柄；5、遮板；6、压紧套；7、压紧弹簧。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1所示，包括溅射室壁板1、开设在溅射室壁板1上的安装孔、可拆卸连接在安装孔处的安装筒2和固定在安装筒2内的透光玻板3，安装筒2外侧的溅射室壁板1上转动连接有一摇柄4，摇柄4的内端固定设置有一圆形的遮板5，遮板5直径大于透光玻板3的直径，安装筒2内滑动连接有一位于透光玻板3的内侧的压紧套6，压紧套6与透明玻板之间连接有一压紧弹簧7，压紧套6与遮板5外侧面抵靠。溅射室壁板1的外侧面设置有对摇柄4进行限位的限位块。

旋转摇柄4，使遮板5旋转可开启或关闭安装筒2内端的开口，以使工作人员可以选择性通过透明玻板外侧观察溅射室内的工作情况，由于观察时间相对较短，溅射过程中对透明玻板的污染相对较少。在透明玻板与遮板5之间设置一压紧套6，使遮板5遮挡透明玻板时能够实现遮板5与安装筒2内壁之间的密封，确保溅射室内部的溅射物不能够在遮板5未开启时对透明玻板进行污染。限位块能够限制摇柄4的旋转极限位置，使遮板5在开启时也能够对压紧套6保持局部压紧，避免压紧套6脱离遮板5而使遮板5无法关闭。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。