[实用新型]一种氮化硅结合碳化硅坩埚有效
| 申请号： | 202023060527.3 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN213811699U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘得顺;方怀毅;李治桐 | 申请（专利权）人： | 唐山正益科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/10 | 分类号： | F27B14/10 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 王姝尹 |
| 地址： | 063000 河北省唐山市唐山高新区火炬*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 结合 碳化硅 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种氮化硅结合碳化硅坩埚，其特征在于，包括：氮化硅结合碳化硅烧结的坩埚底(100)和坩埚环壁(200)，所述坩埚底(100)和所述坩埚环壁(200)插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体；圆筒体内壁以底部为中心向外发散延伸有多条导流线(300)。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅结合碳化硅坩埚，其特征在于，所述坩埚环壁(200)具有多个，均呈圆环状，其顶部均具有第一插接部(201)，底部均具有第二插接部(202)；相邻的所述坩埚环壁(200)之间通过第一插接部(201)和第二插接部(202)插接，所述坩埚底(100)顶端设有与对应配合的所述坩埚环壁(200)的第二插接部(202)插接配合的第三插接部(101)。
3.根据权利要求2所述的一种氮化硅结合碳化硅坩埚，其特征在于，所述第一插接部(201)和所述第三插接部(101)为凸沿或环形槽；所述第二插接部(202)对应为环形槽或凸沿。
4.根据权利要求3所述的一种氮化硅结合碳化硅坩埚，其特征在于，所述凸沿顶部和所述环形槽槽底均为弧形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于唐山正益科技有限公司，未经唐山正益科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202023060527.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：桨叶干燥机氮气密封装置
- 下一篇：电子设备、壳体组件以及电致变色组件
