[实用新型]一种氮化硅结合碳化硅坩埚

说明书

本实用新型涉及一种氮化硅结合碳化硅坩埚，包括：氮化硅结合碳化硅烧结的坩埚底和坩埚环壁，坩埚底和坩埚环壁插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体；圆筒体内壁以底部为中心向外发散延伸有多条导流线。本实用新型由于坩埚底和坩埚环壁插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体，方便石英坩埚换埚时取出，以底部为中心向外发散延伸有多条导流线和采用氮化硅结合碳化硅烧结形成了导热性好，线膨胀系数小、耐磨、耐腐蚀、方便分离的坩埚，进而石英坩埚换埚时方便取出，不易损坏，提高了坩埚的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及坩埚技术领域，更具体的说是涉及一种氮化硅结合碳化硅坩埚。

背景技术

碳碳坩埚是采用高强度碳纤维和碳基质构成的复合材料制备而成，在使用过程中，由于石英坩埚是一次性工装，必须逐炉更换，拆炉会存在碳碳坩埚和石英坩埚粘贴太紧，每次需花很长的时间用铁锤敲打，才能把石英坩埚取出，这不仅增加了员工劳动强度，也严重的影响了碳碳坩埚的使用寿命。为了解决上述问题，现有技术中出现了分体式碳碳坩埚，虽然相对整体式碳碳坩埚能够方便取出石英坩埚，但是由于坩埚内径与石英坩埚外径配合紧密，取出依然对碳碳坩埚造成损坏，因此，如何提供一种氮化硅结合碳化硅坩埚是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

为此，本实用新型的目的在于提出一种氮化硅结合碳化硅坩埚，解决现有分体碳碳坩埚与石英坩埚分离时容易损坏的问题。

本实用新型提供的一种氮化硅结合碳化硅坩埚，包括：氮化硅结合碳化硅烧结的坩埚底和坩埚环壁，坩埚底和坩埚环壁插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体；圆筒体内壁以底部为中心向外发散延伸有多条导流线。

经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种氮化硅结合碳化硅坩埚，由于坩埚底和坩埚环壁插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体，方便石英坩埚换埚时取出，以底部为中心向外发散延伸有多条导流线和采用氮化硅结合碳化硅烧结形成了导热性好，线膨胀系数小、耐磨、耐腐蚀、方便分离的坩埚，进而石英坩埚换埚时方便取出，不易损坏，提高了坩埚的使用寿命。

进一步地，坩埚环壁具有多个，均呈圆环状，其顶部均具有第一插接部，底部均具有第二插接部；相邻的坩埚环壁之间通过第一插接部和第二插接部插接，坩埚底顶端设有与对应配合的坩埚环壁的第二插接部插接配合的第三插接部。多个坩埚环壁插接，更容易更换石英坩埚，制备时，体积小，更容易生产。坩埚局部损坏可以更换局部即可。

进一步地，第一插接部和第三插接部为凸沿或环形槽；第二插接部对应为环形槽或凸沿。

进一步地，凸沿顶部和环形槽槽底均为弧形，安装定位方便，即使从侧边敲击翘曲坩埚环壁插接处也不容易损坏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1附图为本实用新型提供的一种氮化硅结合碳化硅坩埚的结构示意图；

图2附图示出了本实用新型提供的一种氮化硅结合碳化硅坩埚的剖视图；

图3附图示出了插接处的局部放大示意图；

图中：100-坩埚底，101-第三插接部，200-坩埚环壁，201-第一插接部，202-第二插接部，300-导流线。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。