[实用新型]一种连续式化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述沉积炉内依次设置有准备区(2)、沉积区(1)和冷却区(3)；

所述沉积区(1)包括升降台(101)、至少一个旋转承载台(102)、与旋转承载台(102)相对应的加热器(108)或感应线圈；

所述准备区(2)、沉积区(1)和冷却区(3)外部分别安装有第一密封门(206)、第二密封门(113)、第三密封门(304)。

2.根据权利要求1所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述加热器(108)采用圆形整体加热器、圆形拼接加热器、方形整体加热器或方形拼接加热器中任意一种。

3.根据权利要求2所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述加热器(108)材质采用石墨、碳/碳或钨钼材料。

4.根据权利要求1所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述旋转承载台(102)采用轴流式或非轴流式。

5.根据权利要求1所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述沉积区(1)还包括炉体以及对升降台(101)和设置于升降台(101)上的旋转承载台(102)进行升降动作的升降机构(107)；所述升降台(101)的周侧壁上安装有与炉体内侧壁挤压密封的密封圈(106)。

6.根据权利要求1所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述准备区(2)内底部设置有用于放置准备状态预制体的第一放置台(201)，顶部设置有与第一放置台(201)位置相对的第一氮气吹入管(202)，侧部设置有第一氮气排气管(204)。

7.根据权利要求6所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述准备区(2)内侧壁设置有第二保温层(205)，位于第一放置台(201)的周侧设置有用于对准备状态预制体进行感应预加热的感应线圈(203)。

8.根据权利要求1所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述冷却区(3)内底部设置有用于放置制备完成需冷却状态的复合材料的第二放置台(301)，顶部设置有与第二放置台(301)位置相对的第二氮气吹入管(302)，侧部设置有第二氮气排气管(303)。