[实用新型]一种连续式化学气相沉积炉

说明书

本实用新型公开了一种连续式化学气相沉积炉，涉及复合材料制造设备领域。本实用新型沉积炉内依次设置有准备区、沉积区和冷却区；沉积区包括升降台、至少一个旋转承载台、与旋转承载台相对应的加热器；准备区、沉积区和冷却区外部分别安装有第一密封门、第二密封门、第三密封门。本实用新型能够做到同一个沉积炉同时有三个制备件分别于三个区内进行预热、沉积和冷却，并依次连续性的转换，大大加速了单个沉积炉的复合材料的制备效率，节约了时间；沉积区结构设计使装载碳纤维预制体的承载板能够于加热制备过程中进行旋转，保持内部混合气体和加热温度对其表面作用的均匀性，提高了碳纤维预制体制备成品的品质。

技术领域

本实用新型属于复合材料制造设备领域，特别是涉及一种连续式化学气相沉积炉。

背景技术

复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对复合材料产品的质量有了更高的要求。

化学气相沉积是一种被广泛应用于生产复合材料的工艺方法。现有的化学气相沉积炉或沉积系统，大多是从沉积炉的底部通过多路进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内的沉积室的底部，并发生热解后形成基体碳沉积于坯体产品的内部或表面。由于现有的沉积炉的这种进气结构，碳源气体从进气管路直接进入沉积室底部的料盘，并以1～3m/s的速度快速进入沉积炉中部的高温区，造成沉积炉最底端的产品温度过低，达不到沉积温度，而且碳源气体迅速通过底部的产品，还未来得及在底部产品上沉积就跑到了中部产品，从而导致沉积炉内底端产品的沉积效果不佳，使得沉积炉内不同位置的产品质量不一致，或者同一个产品上不同部位的质量不一致。

并且由于现有的沉积炉为单个炉腔，一般预制体放置于沉积炉内进行制备时没有预热和冷却的步骤，预制体直接在炉腔内加热和冷却，导致单个沉积炉在制备时的造成的制备耗费时间长，效率低的问题，因此提供一种连续式化学气相沉积炉具有重要意义。

实用新型内容

本实用新型提供了一种连续式化学气相沉积炉，解决了以上问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型的一种连续式化学气相沉积炉，所述沉积炉内依次设置有准备区、沉积区和冷却区；

所述沉积区包括升降台、至少一个旋转承载台、与旋转承载台相对应的加热器或感应线圈；

所述准备区、沉积区和冷却区外部分别安装有第一密封门、第二密封门、第三密封门。

进一步地，所述加热器采用圆形整体加热器、圆形拼接加热器、方形整体加热器或方形拼接加热器中任意一种。

进一步地，所述加热器材质采用石墨、碳/碳或钨钼材料。

进一步地，所述旋转承载台采用轴流式或非轴流式。

进一步地，所述沉积区还包括炉体以及对升降台和设置于升降台上的旋转承载台进行升降动作的升降机构；所述升降台的周侧壁上安装有与炉体内侧壁挤压密封的密封圈。

进一步地，所述准备区内底部设置有用于放置准备状态预制体的第一放置台，顶部设置有与第一放置台位置相对的第一氮气吹入管，侧部设置有第一氮气排气管。

进一步地，所述准备区内侧壁设置有第二保温层，位于第一放置台的周侧设置有用于对准备状态预制体进行感应预加热的感应线圈。

进一步地，所述冷却区内底部设置有用于放置制备完成需冷却状态的复合材料的第二放置台，顶部设置有与第二放置台位置相对的第二氮气吹入管，侧部设置有第二氮气排气管。

本实用新型相对于现有技术包括有以下有益效果：