[实用新型]一种圆晶加工用烘干装置有效

专利信息
申请号: 202023069104.8 申请日: 2020-12-18
公开(公告)号: CN214120646U 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 廖红伟;沈国平;刘洋博 申请(专利权)人: 九江正启微电子有限公司
主分类号: F26B11/18 分类号: F26B11/18;F26B21/00;F26B25/02;F26B25/18
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 林燕
地址: 332500 江西省九*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 圆晶加 工用 烘干 装置
【权利要求书】:

1.一种圆晶加工用烘干装置,包括箱体(1),所述箱体(1)上铰接有侧开门(6),其特征在于:所述箱体(1)内设有竖直布置的风柱(7),所述箱体(1)内位于风柱(7)的两侧均设有不少于一个的上下连接在一起的夹持装置(8),所述风柱(7)的两侧均开有和夹持装置(8)对应布置的出风口(9),所述箱体(1)上端设有驱动夹持装置(8)转动的电机(3)以及和风柱(7)接通的暖风机(4),所述夹持装置(8)包括上下连接在一起的连接板(12),所述连接板(12)的上端设有上夹板(10),下端开有导槽(13),所述导槽(13)中滑动设有导板(14),所述导板(14)的下端和导槽(13)底面之间设有弹簧(15),所述导板(14)的一侧设有和上夹板(10)相配合的下夹板(11),所述上夹板(10)和下夹板(11)相对布置的面上均开有不少于一个和圆晶配合的放置槽(16)。

2.根据权利要求1所述的一种圆晶加工用烘干装置,其特征在于:所述箱体(1)下端插接有接水盒(2),所述箱体(1)底面开有和接水盒(2)相对应的通孔(17)。

3.根据权利要求1所述的一种圆晶加工用烘干装置,其特征在于:所述导槽(13)的两侧均开有限位槽(18),所述导板(14)的两侧均设有滑动设置在对应侧所述限位槽(18)中的滑块(19)。

4.根据权利要求1所述的一种圆晶加工用烘干装置,其特征在于:所述侧开门(6)上设有观察窗(5)。

5.根据权利要求1所述的一种圆晶加工用烘干装置,其特征在于:所述上夹板(10)和下夹板(11)上的放置槽(16)均位于连接板(12)的两侧。

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