[实用新型]一种圆晶加工用烘干装置

说明书

本实用新型公开了一种圆晶加工用烘干装置，包括箱体，箱体上铰接有侧开门，箱体内设有风柱，风柱的两侧均设有上下连接在一起的夹持装置，风柱的两侧均开有出风口，箱体上端设有驱动夹持装置转动的电机以及和风柱接通的暖风机，夹持装置包括上下连接在一起的连接板，连接板的上端设有上夹板，下端开有导槽，导槽中滑动设有导板，导板的下端和导槽底面之间设有弹簧，导板的一侧设有和上夹板相配合的下夹板，上夹板和下夹板相对布置的面上均开有不少于一个和圆晶配合的放置槽。本实用新型与现有技术相比的优点在于：无需人工翻转圆晶进行烘干，烘干速度较快、效率较高，同时在烘干的过程中被固定，放置较为稳定，不容易损坏。

技术领域

本实用新型涉圆晶烘干装置及技术领域，具体是指一种圆晶加工用烘干装置。

背景技术

圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。

在制备圆晶的过程中需要对其进行清洗和烘干，现有的烘干方式通常为将圆晶平铺在放置板上，然后通过暖风进行风干，然后在将圆晶翻转到另一面在对其进行风干，烘干速度较慢，效率较低，另外圆晶在放置板上没有进行固定，容易在风干的过程中被吹动，甚至从放置板上掉落，从而造成圆晶的破损。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服以上技术缺陷，提供一种圆晶加工用烘干装置，无需人工翻转圆晶进行烘干，烘干速度较快、效率较高，同时在烘干的过程中被固定，放置较为稳定，不容易损坏。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种圆晶加工用烘干装置，包括箱体，所述箱体上铰接有侧开门，所述箱体内设有竖直布置的风柱，所述箱体内位于风柱的两侧均设有不少于一个的上下连接在一起的夹持装置，所述风柱的两侧均开有和夹持装置对应布置的出风口，所述箱体上端设有驱动夹持装置转动的电机以及和风柱接通的暖风机，所述夹持装置包括上下连接在一起的连接板，所述连接板的上端设有上夹板，下端开有导槽，所述导槽中滑动设有导板，所述导板的下端和导槽底面之间设有弹簧，所述导板的一侧设有和上夹板相配合的下夹板，所述上夹板和下夹板相对布置的面上均开有不少于一个和圆晶配合的放置槽。

本实用新型与现有技术相比的优点在于：在使用时，将圆晶放置在夹持装置的上夹板和下夹板上对应布置的放置槽中，并在弹簧向上的弹力的作用下带动下夹板产生向上的力，从而将圆晶固定在上下夹板之间，放置较为稳定，不会因在烘干的过程中掉落而摔坏，同时圆晶处于竖直状态放置，并在电机的驱动下360的转动，在转动的过程中通过暖风机产生的暖风进入风柱，并从风柱的出风口吹向转动的圆晶，无需人工对圆晶进行翻转烘干，烘干速度较快、效率较高。

作为改进，所述箱体下端插接有接水盒，所述箱体底面开有和接水盒相对应的通孔，圆晶上的清洗水可以通过通孔滴落在接水盒中，从而较少箱体内的水分。

作为改进，所述导槽的两侧均开有限位槽，所述导板的两侧均设有滑动设置在对应侧所述限位槽中的滑块，提高导板沿着导槽上下移动的稳定性。

作为改进，所述侧开门上设有观察窗，通过观察窗能够看到箱体内部的烘干情况。

作为改进，所述上夹板和下夹板上的放置槽均位于连接板的两侧，避免在烘干的过程中圆晶被连接板挡住的部分较多，从而进一步提高烘干效率。

附图说明

图1是本实用新型一种圆晶加工用烘干装置的结构示意图。

图2是本实用新型一种圆晶加工用烘干装置的内部结构示意图。

图3是本实用新型一种圆晶加工用烘干装置的夹持装置的侧面视图。

图4是本实用新型一种圆晶加工用烘干装置的夹持装置的主视图。