[实用新型]一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉有效
| 申请号： | 202023071154.X | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN215050682U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 申富强;王景珍 | 申请（专利权）人： | 上海骐杰碳素材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/455;C23C16/26;C04B35/83 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 汪发成 |
| 地址： | 201500 上海市金山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 旋转 承载 结构 沉积 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉，其特征在于，炉内包括至少两个加热器(2)以及与加热器(2)相对应的安装于承载台(4)上的至少两个旋转承载板(303)。
2.根据权利要求1所述的一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉，其特征在于，所述加热器(2)采用圆形整体加热器、圆形拼接加热器、方形整体加热器或方形拼接加热器中任意一种。
3.根据权利要求2所述的一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉，其特征在于，所述加热器(2)材质采用石墨、碳/碳或钨钼材料。
4.根据权利要求1所述的一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉，其特征在于，所述承载台(4)采用轴流式或非轴流式。
5.根据权利要求1所述的一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉，其特征在于，所述沉积炉还包括炉体(1)以及对承载台(4)进行升降动作的升降机构(5)；所述承载台(4)的周侧壁上安装有与炉体(1)内侧壁挤压密封的密封圈(402)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
