[实用新型]一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉有效
申请号: | 202023071154.X | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN215050682U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 申富强;王景珍 | 申请(专利权)人: | 上海骐杰碳素材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/455;C23C16/26;C04B35/83 |
代理公司: | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人: | 汪发成 |
地址: | 201500 上海市金山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 旋转 承载 结构 沉积 | ||
本实用新型公开了一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉,涉及碳纤维复合材料制造设备领域。本实用新型包括至少两个加热器以及与加热器相对应的安装于承载台上的至少两个旋转承载板;加热器采用圆形整体加热器、圆形拼接加热器、方形整体加热器或方形拼接加热器中任意一种;加热器材质采用石墨、碳/碳或钨钼材料;承载台的周侧壁上安装有与炉体内侧壁挤压密封的密封圈。本实用新型使装载碳纤维预制体的旋转承载板能够于加热制备过程中进行旋转,保持内部混合气体和加热温度对其表面作用的均匀性,提高了碳纤维预制体制备成品的品质,确保碳源气体在炉腔底部开始充分裂解挥发,提高产品的整体沉积效果。
技术领域
本实用新型属于碳纤维复合材料制造设备领域,特别是涉及一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉。
背景技术
炭-炭复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料,具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点,在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用,并随着社会的发展和科技的进步,对炭-炭复合材料产品的质量有了更高的要求。
化学气相沉积是一种被广泛应用于生产炭-炭复合材料的工艺方法。现有的化学气相沉积炉或沉积系统,大多是从沉积炉的底部通过多路进气管路向沉积炉内通入碳源气体,碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内的沉积室的底部,并发生热解后形成基体碳沉积于坯体产品的内部或表面。由于现有的沉积炉的这种进气结构,碳源气体从进气管路直接进入沉积室底部的料盘,并以1~3m/s的速度快速进入沉积炉中部的高温区,造成沉积炉最底端的产品温度过低,达不到沉积温度,而且碳源气体迅速通过底部的产品,还未来得及在底部产品上沉积就跑到了中部产品,从而导致沉积炉内底端产品的沉积效果不佳,使得沉积炉内不同位置的产品质量不一致,或者同一个产品上不同部位的质量不一致。
实用新型内容
本实用新型提供了一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉,解决了以上问题。
为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:
本实用新型的一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉,所述炉内包括至少两个加热器以及与加热器相对应的安装于承载台上的至少两个旋转承载板。
进一步地,所述加热器采用圆形整体加热器、圆形拼接加热器、方形整体加热器或方形拼接加热器中任意一种。
进一步地,所述加热器材质采用石墨、碳/碳或钨钼材料。
进一步地,所述承载台采用轴流式或非轴流式。
进一步地,所述沉积炉还包括炉体以及对承载台进行升降动作的升降机构;所述承载台的周侧壁上安装有与炉体内侧壁挤压密封的密封圈。
本实用新型相对于现有技术包括有以下有益效果:
1、本实用新型的具有多轴旋转式承载结构的沉积炉采用的带升降结构的升降台,能够对放置碳纤维预制体的旋转承载板进行自动化便捷化的升降动作用,便捷性的实现预制体的放置或取出或进入工作工位,可控性强;
2、本实用新型的具有多轴旋转式承载结构的沉积炉内的旋转承载板设置有多个,对应多个旋转轴以及驱动机构进行旋转驱动,使装载碳纤维预制体的旋转承载板能够于加热制备过程中进行旋转,保持内部混合气体和加热温度对其表面作用的均匀性,提高了碳纤维预制体制备成品的品质。
3、本实用新型的具有多轴旋转式承载结构的沉积炉内的承载台和旋转承载板上均布开设有通孔,承载台内设置有集气腔室用于缓存混合气体,使混合气体能够均匀的以缓冲气流同一速率的形式由通孔输送至炉腔内,保持炉腔内的混合气体运动的均匀性,确保碳源气体在炉腔底部开始充分裂解挥发,提高产品的整体沉积效果。
当然,实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的