[实用新型]一种圆晶加工用清洗装置有效

专利信息
申请号: 202023074058.0 申请日: 2020-12-19
公开(公告)号: CN214336683U 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 廖红伟;沈国平;刘洋博 申请(专利权)人: 九江正启微电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/02
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 叶似锦
地址: 332500 江西省九*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 圆晶加 工用 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种圆晶加工用清洗装置,包括箱架(1),其特征在于:所述箱架(1)内部上端设有导柱(15),所述导柱(15)内设有导槽(16),所述导槽(16)内插接有连接柱(18),所述连接柱(18)与导槽(16)之间设有弹簧(2),所述导柱(15)一侧设有限位片(17),所述连接柱(18)上设有与限位片(17)配合使用的卡槽,所述连接柱(18)下端设有清洗台(3),所述清洗台(3)设有凹槽(21),所述凹槽(21)内设有液体喷口(10)和清洗垫(4),所述箱架(1)外部上端设有与液体喷口(10)连通的水泵(8)以及分别与水泵(8)连接的药液箱(7)和清水箱(19),所述箱架(1)底部设有支柱(20),所述支柱(20)上端设有电机(5)以及通过电机(5)驱动的和凹槽(21)配合的操作台(6),所述操作台(6)上端设有不少于一个的放置槽(12),所述操作台(6)边缘设有废滤液口(11),所述箱架(1)底部设有位于清洗台(3)下方的废液箱(13),所述箱架(1)内部两侧分别设有和操作台(6)相对应的暖风喷口(9),所述箱架(1)底部设有与暖风喷口(9)连接的暖风机(14)。

2.根据权利要求1所述一种圆晶加工用清洗装置,其特征在于:所述药液箱(7)和清水箱(19)分别设有阀门,所述水泵(8)分别与药液箱(7)和清水箱(19)设有的阀门连接。

3.根据权利要求1所述一种圆晶加工用清洗装置,其特征在于:所述清洗台(3)内部设有空腔,所述液体喷口(10)与空腔连通,所述的水泵(8)通过水管与空腔相连。

4.根据权利要求1所述一种圆晶加工用清洗装置,其特征在于:所述操作台(6)位于凹槽(21)内,所述凹槽(21)和操作台(6)之间间隙配合,所述凹槽(21)侧壁胶接有海绵垫,所述的清洗垫(4)胶接与凹槽(21)内。

5.根据权利要求1所述一种圆晶加工用清洗装置,其特征在于:一侧所述暖风喷口(9)设有至少两个。

6.根据权利要求1所述一种圆晶加工用清洗装置,其特征在于:所述废液箱(13)设有排污阀(22)。

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