[实用新型]一种利用光谱技术的在线式膜厚检测设备有效

专利信息
申请号: 202023081370.2 申请日: 2020-12-18
公开(公告)号: CN213515500U 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 安继伟 申请(专利权)人: 深圳市圣德和薄膜技术有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 代理人: 赵英杰
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区坂田街道象*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 利用 光谱 技术 在线 式膜厚 检测 设备
【权利要求书】:

1.一种利用光谱技术的在线式膜厚检测设备,包括壳体(4),所述壳体(4)的前表壁设置有电源开关(1)和显示屏(2),所述显示屏(2)位于电源开关(1)的一侧,所述壳体(4)的内部设置有光谱器(15),所述显示屏(2)和光谱器(15)均与电源开关(1)电性连接,其特征在于:所述壳体(4)的上方贯穿有导风筒(3),所述导风筒(3)的内部设置有固定杆(12),所述固定杆(12)的一侧设置有连接杆(10),所述连接杆(10)的一侧通过转轴转动连接有叶轮(9),所述导风筒(3)的下方设置有扩风筒(13),所述壳体(4)的内部设置有两个卡块(6),两个所述卡块(6)之间滑动连接有隔板(8)。

2.根据权利要求1所述的一种利用光谱技术的在线式膜厚检测设备,其特征在于:所述扩风筒(13)的内部设置有过滤网(14),所述过滤网(14)与扩风筒(13)通过螺纹旋合连接。

3.根据权利要求1所述的一种利用光谱技术的在线式膜厚检测设备,其特征在于:所述卡块(6)的两端均设置有固定板(5),两个所述固定板(5)均与壳体(4)的内表壁通过固定销(16)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种利用光谱技术的在线式膜厚检测设备,其特征在于:所述卡块(6)的内部设置有垫片(7),所述垫片(7)的两端均设置有锯齿。

5.根据权利要求1所述的一种利用光谱技术的在线式膜厚检测设备,其特征在于:所述导风筒(3)的内部两端均设置有固定块(11),两个所述固定块(11)的一侧均开设有卡槽,两个卡槽的内部卡合连接有固定杆(12)。

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