[实用新型]一种应用于ASM分选机设备的效率提升装置有效
申请号: | 202023083487.4 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN213583716U | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 王新刚;马磊;杨光;彭小虎;庞朋涛;党鹏 | 申请(专利权)人: | 西安航思半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710300 陕西省西安市鄠*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 asm 分选 设备 效率 提升 装置 | ||
1.一种应用于ASM分选机设备的效率提升装置,包括转盘(1)、转盘架(2)、摆板(3)、导板(4)、端套(5)和底座(6),其特征在于,所述转盘(1)左端固定安装有对称设置的转盘架(2),所述转盘(1)右端中部固定安装有底座(6),底座(6)右侧嵌设固定安装有第二磁环(17),所述底座(6)右侧中部固定安装有中杆(13),中杆(13)右端固定安装有第二挡板(12),所述中杆(13)外侧套设安装有滑套(14),滑套(14)内侧左部旋接固定安装有限位环(7),限位环(7)内壁与中杆(13)滑动接触,所述滑套(14)右端固定安装有第一挡板(10),所述第一挡板(10)和第二挡板(12)左侧边缘处外壁固定安装有缓震垫(9),所述底座(6)右端插接安装有端套(5),端套(5)左端中部嵌设固定安装有装配环座(8),装配环座(8)右侧壁和限位环(7)右侧壁嵌设固定安装有第二橡胶圈(18),所述装配环座(8)左端固定安装有第一磁环(16),所述端套(5)外侧右部转动安装有对称设置的导板(4),导板(4)右端通过转销与端套(5)右端边缘处转动连接,所述导板(4)左端转动安装有摆板(3),摆板(3)靠近端套(5)一侧固定安装有转接座(19),转接座(19)端部转动安装有滑杆(22),滑杆(22)端部固定安装有限位凸缘,所述滑杆(22)外侧套设安装有拉簧(20),所述滑杆(22)外侧套设安装有弹簧环(21),弹簧环(21)左端与拉簧(20)左侧壁固定连接,所述弹簧环(21)外侧壁与端套(5)内壁旋接装配,所述端套(5)右侧外壁开设有与摆板(3)和导板(4)配合的嵌设凹槽。
2.根据权利要求1所述的一种应用于ASM分选机设备的效率提升装置,其特征在于,所述端套(5)右端设置有导向斜槽。
3.根据权利要求1所述的一种应用于ASM分选机设备的效率提升装置,其特征在于,所述转盘架(2)的数量为四个,所述转盘架(2)中部开设有螺栓装配孔。
4.根据权利要求1所述的一种应用于ASM分选机设备的效率提升装置,其特征在于,所述第一挡板(10)和第二挡板(12)右端分别固定安装有衬板(11)。
5.根据权利要求1所述的一种应用于ASM分选机设备的效率提升装置,其特征在于,所述第一磁环(16)和第二磁环(17)采用N极板(23)和S极板(24)交错排列制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造