[实用新型]一种光罩转移器

权利要求书

1.一种光罩转移器，其特征在于，所述光罩转移器包括握把、连接件、第一承载件、第二承载件和限位顶柱；

所述连接件包括相对的第一侧面和第二侧面，所述握把的一端与所述第一侧面的中心位置连接，另一端向远离所述第一侧面的方向延伸；

所述第一承载件和所述第二承载件平行、间隔并且关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置在所述第二侧面上，所述垂直平分面与所述第二侧面的长边垂直并且与所述第二侧面的短边平行，所述第一承载件的一端与所述第二侧面连接，另一端向远离所述第二侧面的方向延伸；所述第二承载件的一端与所述第二侧面连接，另一端向远离所述第二侧面的方向延伸；所述第一承载件的内侧设置有位于同一平面的第一台阶和第二台阶，所述第一台阶和所述第二台阶用于承载光罩，所述第一台阶位于所述第一承载件的一端，所述第二台阶位于所述第一承载件的另一端，所述第二台阶靠近所述第一承载件的另一端的一侧设置有用于固定所述光罩的第一翻边，其中，所述第一承载件的内侧是指所述第一承载件和所述第二承载件相对的侧面；

所述第二承载件的内侧设置有与所述第一台阶和所述第二台阶位于同一平面的第三台阶和第四台阶，所述第三台阶和所述第四台阶用于承载所述光罩，所述第三台阶位于所述第二承载件的一端，所述第四台阶位于所述第二承载件的另一端，所述第四台阶靠近所述第二承载件的另一端的一侧设置有用于固定所述光罩的第二翻边，所述第一翻边和所述第二翻边位于同一平面上；

所述第一承载件和所述第二承载件之间的距离大于所述光罩的宽度，所述第一翻边与所述第二侧面之间的距离大于所述光罩的长度，所述第一台阶的顶面与所述第二侧面的顶边之间的距离大于零；

所述限位顶柱沿所述第一侧面指向所述第二侧面的方向贯穿所述连接件，所述限位顶柱相对所述连接件可活动，所述限位顶柱用于固定所述光罩，所述限位顶柱和所述第一翻边位于所述第一台阶的同一侧，所述限位顶柱与所述第二侧面上的交点与所述第一台阶的顶面之间的距离小于所述光罩的厚度。

2.如权利要求1所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一承载件的一端、所述第二承载件的一端、所述第一台阶的一端和所述第三台阶的一端均与所述第二侧面垂直连接。

3.如权利要求2所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一台阶和所述第三台阶关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置，所述第二台阶和所述第四台阶关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置。

4.如权利要求3所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一承载件和所述第二承载件分别设置在所述第二侧面的两端，所述第一承载件的底面、所述第二承载件的底面和所述第二侧面的底边在同一平面上。

5.如权利要求4所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一翻边与所述第二台阶的顶面垂直，并且与所述第一承载件的另一端的端面齐平；所述第二翻边与所述第四台阶的顶面垂直，并且与所述第二承载件的另一端的端面齐平。

6.如权利要求1所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第二侧面上设置有用于固定所述光罩的凸起结构，所述凸起结构和所述第一翻边位于所述第一台阶的同一侧，所述凸起结构与所述第一台阶的顶面之间的距离小于所述光罩的厚度。

7.如权利要求6所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一台阶的上方和所述第三台阶的上方分别设置一个所述凸起结构。

8.如权利要求1所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一侧面和所述第二侧面平行，所述限位顶柱分别与所述第一侧面和所述第二侧面垂直。

9.如权利要求8所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述限位顶柱包括顶柱和弹簧，所述弹簧套在所述顶柱上，所述顶柱上设置有外螺纹，所述连接件上开设有用于固定所述顶柱的孔，所述孔在靠近所述第一侧面的一端用于容纳和固定所述弹簧，所述孔在靠近所述第二侧面的一端设置有与所述外螺纹相配合的内螺纹，所述顶柱的长度大于孔的长度。

10.如权利要求1所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一台阶的顶面、所述第二台阶的顶面、所述第三台阶的顶面、所述第四台阶的顶面均设置有软胶垫片。