[实用新型]一种光罩转移器

说明书

本实用新型提供了一种光罩转移器。光罩转移器包括握把、连接件、第一承载件、第二承载件和限位顶柱；连接件包括第一侧面和第二侧面，握把与第一侧面的中心位置连接；第一承载件和第二承载件平行、间隔并且关于第二侧面的垂直平分面对称设置在第二侧面上；第一承载件的内侧设置有位于同一平面的第一台阶和第二台阶，第二台阶靠近第一承载件的另一端的一侧设置有第一翻边；第二承载件的内侧设置有第三台阶和第四台阶，第四台阶设置有第二翻边；限位顶柱贯穿连接件，限位顶柱相对所述连接件可活动，用于固定光罩。从光罩的侧面固定光罩，与光罩表面和背面上的薄膜不接触，提高了人工转移光罩的效率，降低了光罩报废的概率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造领域，特别涉及一种光罩转移器。

背景技术

在使用光刻机制造晶圆的过程中，需要将晶圆放在光罩(mask)下方进行曝光，不同批次的晶圆需要刻蚀的图形可能不同，当需要更换图形时，需要更换不同的光罩。光罩通常存放在机台的储存室(library)内，存储室内放置有支架，光罩悬挂在支架上。在正常情况下，可以通过机械臂自动从储存室内的支架上取出光罩并转移到光罩盒子中。

然而，当光刻机宕机或机械臂出现故障时，机械臂不能正常运行，此时需要人工用手转移光罩。人工用手转移光罩时，光罩容易滑落并且光罩表面和背面的薄膜(pellicle)容易被划伤，导致光罩报废。

实用新型内容

本实用新型提供了一种光罩转移器，以解决人工转移光罩时光罩容易滑落并且光罩表面和背面的薄膜容易被划伤的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种光罩转移器，所述光罩转移器包括握把、连接件、第一承载件、第二承载件和限位顶柱；

所述连接件包括相对的第一侧面和第二侧面，所述握把的一端与所述第一侧面的中心位置连接，另一端向远离所述第一侧面的方向延伸；

所述第一承载件和所述第二承载件平行、间隔并且关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置在所述第二侧面上，所述垂直平分面与所述第二侧面的长边垂直并且与所述第二侧面的短边平行，所述第一承载件的一端与所述第二侧面连接，另一端向远离所述第二侧面的方向延伸；所述第二承载件的一端与所述第二侧面连接，另一端向远离所述第二侧面的方向延伸；所述第一承载件的内侧设置有位于同一平面的第一台阶和第二台阶，所述第一台阶和所述第二台阶用于承载光罩，所述第一台阶位于所述第一承载件的一端，所述第二台阶位于所述第一承载件的另一端，所述第二台阶靠近所述第一承载件的另一端的一侧设置有用于固定所述光罩的第一翻边，其中，所述第一承载件的内侧是指所述第一承载件和所述第二承载件相对的侧面；

所述第二承载件的内侧设置有与所述第一台阶和所述第二台阶位于同一平面的第三台阶和第四台阶，所述第三台阶和所述第四台阶用于承载所述光罩，所述第三台阶位于所述第二承载件的一端，所述第四台阶位于所述第二承载件的另一端，所述第四台阶靠近所述第二承载件的另一端的一侧设置有用于固定所述光罩的第二翻边，所述第一翻边和所述第二翻边位于同一平面上；

所述第一承载件和所述第二承载件之间的距离大于所述光罩的宽度，所述第一翻边与所述第二侧面之间的距离大于所述光罩的长度，所述第一台阶的顶面与所述第二侧面的顶边之间的距离大于零；

所述限位顶柱沿所述第一侧面指向所述第二侧面的方向贯穿所述连接件，所述限位顶柱相对所述连接件可活动，所述限位顶柱用于固定所述光罩，所述限位顶柱和所述第一翻边位于所述第一台阶的同一侧，所述限位顶柱与所述第二侧面上的交点与所述第一台阶的顶面之间的距离小于所述光罩的厚度。

可选的，所述第一承载件的一端、所述第二承载件的一端、所述第一台阶的一端和所述第三台阶的一端均与所述第二侧面垂直连接。

可选的，所述第一台阶和所述第三台阶关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置，所述第二台阶和所述第四台阶关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置。