[实用新型]硅棒移送装置及硅棒研磨机有效
申请号: | 202023098416.1 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN215148056U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 李鑫;钱春军;曹奇峰;梁文;朱勤超 | 申请(专利权)人: | 天通日进精密技术有限公司 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34 |
代理公司: | 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309 | 代理人: | 张明;王再朝 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 移送 装置 研磨机 | ||
本申请公开一种硅棒移送装置及硅棒研磨机,其中,所述硅棒移送装置包括硅棒上料承载结构、对中调节机构、以及进给驱动机构,能在将待上料的硅棒由装载区位移送至至少一硅棒加工设备对应的至少一加工区位的装载工作中实现硅棒的对中操作,使得硅棒的轴心线与相应至少一硅棒加工设备的中心线在同一直线上,以利于后续的硅棒加工作业,相对于相关技术,具有结构简单、操作便利、对中准确且高效等优点。
技术领域
本申请涉及硅工件加工技术领域,特别是涉及一种硅棒移送装置及硅棒研磨机。
背景技术
目前,随着社会对绿色可再生能源利用的重视和开放,光伏太阳能发电领域越来越得到重视和发展。光伏发电领域中,通常的晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的,这种硅片从提拉或浇铸的硅锭后通过多线锯切割及后续加工而成。
现有硅片的制作流程,以单晶硅产品为例,一般地,大致的作业工序可包括:先使用硅棒截断机对原初的长硅棒进行截断作业以形成多段短硅棒;截断完成后,使用硅棒开方机对截断后的短硅棒进行开方作业后形成单晶硅棒;再对各个硅棒进行磨面、倒角等加工作业,使得硅棒的表面整形达到相应的平整度及尺寸公差要求;后续再对硅棒进行切片作业以得到硅片。
在利用硅棒加工设备对硅棒进行相应加工作业(例如研磨作业等)时,需先对要装载的硅棒实施位置校准,所述校准可例如校准硅棒的轴心线。而在相关技术中,没有专门的硅棒轴心线校准装置或者已有的硅棒轴心线校准装置结构复杂,硅棒位置校准存在操作复杂且效率低下等问题。
实用新型内容
鉴于以上所述相关技术的缺点,本申请的目的在于公开一种硅棒移送装置及硅棒研磨机用于解决现有技术中硅棒位置校准存在操作复杂且效率低下等问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本申请在第一方面公开一种硅棒移送装置,应用于硅棒加工设备,所述硅棒加工设备包括至少一硅棒加工装置,所述硅棒移送装置包括:
硅棒上料承载结构,用于承载待上料的硅棒;
对中调节机构,用于调节所述硅棒的位置以使得所述硅棒的轴心线与预定中心线对应;以及
进给驱动机构,用于驱动所述硅棒上料承载结构及其所承载的硅棒沿进给方向由装载区位移动至与所述至少一硅棒加工装置对应的至少一加工区位。
本申请公开的硅棒移送装置,包括硅棒上料承载结构、对中调节机构、以及进给驱动机构,能在将待上料的硅棒由装载区位移送至至少一硅棒加工设备对应的至少一加工区位的装载工作中实现硅棒的对中操作,使得硅棒的轴心线与相应至少一硅棒加工设备的中心线在同一直线上,以利于后续的硅棒加工作业,相对于相关技术,具有结构简单、操作便利、对中准确且高效等优点。
在本申请的第一方面的某些实施方式中,所述对中调节机构包括垂向升降机构,用于驱动所述硅棒上料承载结构及其所承载的硅棒作垂向升降运动以使得所述硅棒的轴心线与预定中心线在重垂线方向上对齐,所述预定中心线与第一硅棒夹具的夹持中心线对应。
在本申请的第一方面的某些实施方式中,所述垂向升降机构包括:
垂向升降导杆,用于设置所述硅棒上料承载结构;以及
垂向升降驱动单元,用于驱动所述硅棒上料承载结构沿着所述垂向升降导杆作升降移动。
在本申请的第一方面的某些实施方式中,所述垂向升降驱动单元包括:驱动电机以及垂向设置且由所述驱动电机驱动的丝杆组件,或者,驱动电机以及垂向设置且由所述驱动电机驱动的齿轮齿条传动组件。
在本申请的第一方面的某些实施方式中,所述垂向升降驱动单元还包括辅助升降组件,所述辅助升降组件包括气缸及与所述气缸相连的升降顶杆。
在本申请的第一方面的某些实施方式中,所述对中调节机构还包括高度检测仪,用于检测硅棒以得到所述硅棒的轴心线在重垂线方向上的位置信息。
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