[实用新型]硅片加工用成品检测小车

权利要求书

1.硅片加工用成品检测小车，包括车体(1)，其特征在于：所述车体(1)的内部设置有安装板(2)，所述安装板(2)的内部设置有螺纹杆(3)，所述螺纹杆(3)的外侧表面且位于安装板(2)的顶部外表面设置有定位块(4)，所述定位块(4)的两侧且位于螺纹杆(3)的外侧外表面均设置有滑块(5)，所述滑块(5)的顶部外表面且位于安装板(2)的顶部外表面设置有安装座(6)，所述安装座(6)的内侧设置有夹持板(7)，所述车体(1)的顶部且位于安装座(6)的顶部设置有顶盖(8)，所述顶盖(8)的底部外表面且安装座(6)的内侧设置有检测探头(9)，所述车体(1)的底部外表面设置有多组滚轮(10)。

2.根据权利要求1所述的硅片加工用成品检测小车，其特征在于：所述车体(1)底部的外侧设置有多组与滚轮(10)相对应的开口，所述滚轮(10)与车体(1)为活动连接，所述顶盖(8)的底部与车体(1)的顶部之间设置有多组支撑杆(11)，所述支撑杆(11)与顶盖(8)以及车体(1)均为固定连接，所述支撑杆(11)为四组。

3.根据权利要求1所述的硅片加工用成品检测小车，其特征在于：所述车体(1)的内部设置有与安装板(2)对应的凹槽，所述安装板(2)为圆柱体结构，所述安装板(2)的底部与螺纹杆(3)的左侧外表面均设置有电动机(12)，所述电动机(12)与螺纹杆(3)以及安装板(2)均为活动连接，所述安装板(2)底部的电动机(12)与车体(1)为电性连接，所述螺纹杆(3)左侧的电动机(12)与安装板(2)为电性连接。

4.根据权利要求1所述的硅片加工用成品检测小车，其特征在于：所述滑块(5)的内部设置有与螺纹杆(3)相对应的螺纹，所述螺纹杆(3)两侧的螺纹相反，所述安装板(2)的顶部与内部设置有与滑块(5)相对应的滑槽，所述滑块(5)与安装座(6)为固定连接，所述安装座(6)的内部且位于夹持板(7)的内侧设置有定位轴(13)，所述定位轴(13)与夹持板(7)为固定连接，所述夹持板(7)的外侧为气囊结构。

5.根据权利要求1所述的硅片加工用成品检测小车，其特征在于：所述定位块(4)的内部设置有与螺纹杆(3)相对应的开口，所述定位块(4)的顶部且位于安装板(2)的顶部外表面设置有补光灯(14)，所述检测探头(9)与顶盖(8)为电性连接，所述检测探头(9)的底部外表面为凸面镜结构。