[实用新型]硅片加工用成品检测小车有效
申请号: | 202023103073.3 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN213906625U | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 任勇;任祥才 | 申请(专利权)人: | 云南鲁中工贸有限公司 |
主分类号: | H02S50/10 | 分类号: | H02S50/10;H01L21/67;G01N21/84 |
代理公司: | 昆明润勤同创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 53205 | 代理人: | 付石健 |
地址: | 650000 云南省昆*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 工用 成品 检测 小车 | ||
本实用新型公开了硅片加工用成品检测小车,包括车体,所述车体的内部设置有安装板,所述安装板的内部设置有螺纹杆,所述螺纹杆的外侧表面且位于安装板的顶部外表面设置有定位块,所述定位块的两侧且位于螺纹杆的外侧外表面均设置有滑块,所述滑块的顶部外表面且位于安装板的顶部外表面设置有安装座,所述安装座的内侧设置有夹持板,所述车体的顶部且位于安装座的顶部设置有顶盖,所述顶盖的底部外表面且安装座的内侧设置有检测探头,所述车体的底部外表面设置有多组滚轮。本实用新型为硅片加工用成品检测小车,通过夹持板固定硅片的边角,采用检测探头进行检测,并且安装板可转动,提高检测的全面性,较为实用。
技术领域
本实用新型涉及硅片检测技术领域,特别涉及硅片加工用成品检测小车。
背景技术
在米粒大的硅片上,已能集成16万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑。地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场(mass market)的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。硅片在加工后,需要进行及时的检测,现有的硅片检测装置,多为平铺于检测平台上进行检测,检测不够全面,易出现遗漏,并且效率较低。为此,我们提出硅片加工用成品检测小车。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供硅片加工用成品检测小车,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
硅片加工用成品检测小车,包括车体,所述车体的内部设置有安装板,所述安装板的内部设置有螺纹杆,所述螺纹杆的外侧表面且位于安装板的顶部外表面设置有定位块,所述定位块的两侧且位于螺纹杆的外侧外表面均设置有滑块,所述滑块的顶部外表面且位于安装板的顶部外表面设置有安装座,所述安装座的内侧设置有夹持板,所述车体的顶部且位于安装座的顶部设置有顶盖,所述顶盖的底部外表面且安装座的内侧设置有检测探头,所述车体的底部外表面设置有多组滚轮。
优选的,所述车体底部的外侧设置有多组与滚轮相对应的开口,所述滚轮与车体为活动连接,所述顶盖的底部与车体的顶部之间设置有多组支撑杆,所述支撑杆与顶盖以及车体均为固定连接,所述支撑杆为四组。
通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:从而达到了设备便于移动的效果。
优选的,所述车体的内部设置有与安装板对应的凹槽,所述安装板为圆柱体结构,所述安装板的底部与螺纹杆的左侧外表面均设置有电动机,所述电动机与螺纹杆以及安装板均为活动连接,所述安装板底部的电动机与车体为电性连接,所述螺纹杆左侧的电动机与安装板为电性连接。
通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:从而达到了硅片转动的效果。
优选的,所述滑块的内部设置有与螺纹杆相对应的螺纹,所述螺纹杆两侧的螺纹相反,所述安装板的顶部与内部设置有与滑块相对应的滑槽,所述滑块与安装座为固定连接,所述安装座的内部且位于夹持板的内侧设置有定位轴,所述定位轴与夹持板为固定连接,所述夹持板的外侧为气囊结构。
通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:从而达到了提高稳定性的效果。
优选的,所述定位块的内部设置有与螺纹杆相对应的开口,所述定位块的顶部且位于安装板的顶部外表面设置有补光灯,所述检测探头与顶盖为电性连接,所述检测探头的底部外表面为凸面镜结构。
通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:从而达到了高透检测的效果。
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