[实用新型]一种多口径通用型硅片花篮有效
| 申请号： | 202023124390.3 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN213483725U | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 沈杰;姜泉;张鑫成 | 申请（专利权）人： | 常州科讯精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/67 |
| 代理公司： | 芜湖市昌强专利代理事务所(特殊普通合伙) 34203 | 代理人： | 张宇江 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 口径 通用型 硅片 花篮 | ||
1.一种多口径通用型硅片花篮，包括第一侧板（1）和第二侧板（2），其特征在于：
所述第一侧板（1）靠近第二侧板（2）一表面设有第一U形限位条（101）；所述第一侧板（1）一表面且位于第一U形限位条（101）内侧线性阵列均设有第一隔条（102）；所述第一侧板（1）一表面四角端均设有插杆（103）；所述第一侧板（1）一表面且位于第一U形限位条（101）底部开有贯穿孔（104）；所述第一侧板（1）通过贯穿孔（104）转动连接有调节螺杆（3）；
所述第二侧板（2）靠近第一侧板（1）一表面设有第二U形限位条（201）；所述第二侧板（2）一表面且位于第二U形限位条（201）内侧线性阵列均设有第二隔条（202）；所述第二侧板（2）一表面四角端均设有与插杆（103）相配合的套杆（203）；所述第二侧板（2）一表面且位于第二U形限位条（201）底部固定有与调节螺杆（3）相配合的螺纹套筒（204）；
所述第一侧板（1）和第二侧板（2）顶部一侧且位于第一U形限位条（101）和第二U形限位条（201）顶部均铰接有限位端板（4）；所述第一侧板（1）和第二侧板（2）顶部一端螺纹连接有与限位端板（4）相互卡接的限位螺杆（5）。
2.根据权利要求1所述的一种多口径通用型硅片花篮，其特征在于，所述调节螺杆（3）一端周侧面且位于第一侧板（1）两侧均设有限位端环（301）；所述调节螺杆（3）靠近限位端环（301）一端部设有内六角端头（302）。
3.根据权利要求1所述的一种多口径通用型硅片花篮，其特征在于，所述第一侧板（1）顶端开有第一槽口（105）；所述第一侧板（1）远离第一U形限位条（101）一侧且位于第一槽口（105）底部设有第一延伸板（106）；所述第一延伸板（106）上表面端部设有限位端板（4）相配合的第一连接铰座（107）；所述第一侧板（1）顶部一端与第一槽口（105）之间开有与限位螺杆（5）相配合的第一螺纹孔（108）。
4.根据权利要求3所述的一种多口径通用型硅片花篮，其特征在于，所述第二侧板（2）顶端开有第二槽口（205）；所述第二侧板（2）远离第二U形限位条（201）一侧且位于第二槽口（205）底部设有第二延伸板（206）；所述第二延伸板（206）上表面端部设有限位端板（4）相配合的第二连接铰座（207）；所述第二侧板（2）顶部一端与第二槽口（205）之间开有与限位螺杆（5）相配合的第二螺纹孔（208）。
5.根据权利要求1所述的一种多口径通用型硅片花篮，其特征在于，两所述限位端板（4）一端面开有与限位螺杆（5）相配合的插孔（401）。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州科讯精密机械有限公司，未经常州科讯精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202023124390.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
