[实用新型]一种多口径通用型硅片花篮

说明书

本实用新型公开了一种多口径通用型硅片花篮，涉及硅片清洗技术领域。本实用新型包括第一侧板和第二侧板，第一侧板靠近第二侧板一表面设有第一U形限位条；第一侧板通过贯穿孔转动连接有调节螺杆；第二侧板靠近第一侧板一表面设有第二U形限位条；第二侧板一表面且位于第二U形限位条内侧线性阵列均设有第二隔条；第二侧板一表面且位于第二U形限位条底部固定有与调节螺杆相配合的螺纹套筒。本实用新型通过第一U形限位条之间的第一隔条和第二U形限位条之间的第二隔条对硅片分隔插接，在调节螺杆和螺纹套筒的作用下，可对第一侧板和第二侧板之间的距离进行调节，对不同型号大小的硅片进行插接放置，通用性较强。

技术领域

本实用新型属于硅片清洗技术领域，特别是涉及一种多口径通用型硅片花篮。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，因为微量污染会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。

在对硅片进行清洗时，使用硅片清洗花篮，不仅由于化学药剂具有腐蚀性，而且清洗花篮的插槽有利于将硅片均匀分开，不发生粘连，但现有的硅片花篮一般为固定式结构，在针对不同型号大小的硅片清洗时，需要采用定制不同口径的硅片花篮，增加了企业的生产成本，且硅片花篮在使用时，易在误操作时导致硅片从硅片花篮内掉落，实用性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多口径通用型硅片花篮，通过第一侧板、第二侧板、调节螺杆、限位端板和限位螺杆的配合使用，解决了现有的硅片花篮通用性较差、误操作易导致插接的硅片掉落的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种多口径通用型硅片花篮，包括第一侧板和第二侧板，

所述第一侧板靠近第二侧板一表面设有第一U形限位条；所述第一侧板一表面且位于第一U形限位条内侧线性阵列均设有第一隔条；所述第一侧板一表面四角端均设有插杆；所述第一侧板一表面且位于第一U形限位条底部开有贯穿孔；所述第一侧板通过贯穿孔转动连接有调节螺杆；

所述第二侧板靠近第一侧板一表面设有第二U形限位条；所述第二侧板一表面且位于第二U形限位条内侧线性阵列均设有第二隔条；所述第二侧板一表面四角端均设有与插杆相配合的套杆；所述第二侧板一表面且位于第二U形限位条底部固定有与调节螺杆相配合的螺纹套筒；

所述第一侧板和第二侧板顶部一侧且位于第一U形限位条和第二U形限位条顶部均铰接有限位端板；所述第一侧板和第二侧板顶部一端螺纹连接有与限位端板相互卡接的限位螺杆。

进一步地，所述调节螺杆一端周侧面且位于第一侧板两侧均设有限位端环；所述调节螺杆靠近限位端环一端部设有内六角端头。

进一步地，所述第一侧板顶端开有第一槽口；所述第一侧板远离第一U形限位条一侧且位于第一槽口底部设有第一延伸板；所述第一延伸板上表面端部设有限位端板相配合的第一连接铰座；所述第一侧板顶部一端与第一槽口之间开有与限位螺杆相配合的第一螺纹孔。

进一步地，所述第二侧板顶端开有第一槽口；所述第二侧板远离第二U形限位条一侧且位于第二槽口底部设有第二延伸板；所述第二延伸板上表面端部设有限位端板相配合的第二连接铰座；所述第二侧板顶部一端与第二槽口之间开有与限位螺杆相配合的第二螺纹孔。

进一步地，所述两所述限位端板一端面开有与限位螺杆相配合的插孔。

本实用新型具有以下有益效果：

1、通过设置第一U形限位条和第二U形限位条，实现对硅片的架设，来完成对硅片的清洗。

2、通过第一隔条和第二隔条的配合，能够将放置在第一U形限位槽和第二U形限位槽内的硅片进行分隔，避免清洗过程中硅片发生粘连，影响清洗效果。