[实用新型]一种纳米涂层探针

权利要求书

1.一种纳米涂层探针，其特征在于，包括探针主体、纳米涂层和绝缘涂层，所述纳米涂层包覆于所述探针主体外表面，所述探针主体包括测试部、连接部和固定部，所述绝缘涂层设于所述探针主体连接部对应的纳米涂层上，所述纳米涂层为纳米结构。

2.如权利要求1所述的纳米涂层探针，其特征在于，所述纳米涂层为纳米氮化钛涂层，所述纳米氮化钛涂层包含纳米氮化钛颗粒。

3.如权利要求2所述的纳米涂层探针，其特征在于，所述纳米氮化钛涂层的厚度为2～3μm。

4.如权利要求1所述的纳米涂层探针，其特征在于，所述纳米涂层为纳米类金刚石涂层，所述纳米类金刚石涂层包含纳米类金刚石颗粒。

5.如权利要求4所述的纳米涂层探针，其特征在于，所述纳米类金刚石涂层的厚度为1～3μm。

6.如权利要求1至5任一项所述的纳米涂层探针，其特征在于，所述探针主体由铼钨、钨钢、琴钢中的一种材料制成。

7.如权利要求6所述的纳米涂层探针，其特征在于，还包括金属镀层，所述金属镀层包覆于所述纳米涂层外表面，所述绝缘涂层设于所述探针主体连接部对应的金属镀层上。

8.如权利要求7所述的纳米涂层探针，其特征在于，所述金属镀层为镀镍层或者镀金层。

9.如权利要求8所述的纳米涂层探针，其特征在于，所述绝缘涂层为聚氨酯层。

10.如权利要求9所述的纳米涂层探针，其特征在于，所述绝缘涂层具有一定厚度，所述绝缘涂层在所述探针主体上形成第一绝缘层截面和第二绝缘层截面，所述第一绝缘层截面靠近所述测试部，所述第二绝缘层截面靠近所述固定部，所述测试部的端部与所述第一绝缘层截面之间的距离为第一距离，所述固定部的端部与所述第二绝缘层截面之间的距离为第二距离，所述第一距离与所述第二距离的长度相同。