[实用新型]一种纳米涂层探针

说明书

本实用新型提供一种纳米涂层探针，包括探针主体、纳米涂层和绝缘涂层，所述纳米涂层包覆于所述探针主体外表面，所述探针主体包括测试部、连接部和固定部，所述绝缘涂层设于所述探针主体连接部对应的纳米涂层上，所述纳米涂层为纳米结构。本实用新型通过在探针主体外表面包覆一层纳米涂层，本纳米涂层具有纳米结构，可为纳米氮化钛涂层或纳米类金刚石涂层，有效提高探针的硬度和耐磨性能，增加探针的使用寿命，降低测试成本，提高测试效率。

技术领域

本实用新型属于电子设备测试技术领域，尤其涉及一种纳米涂层探针。

背景技术

在电子设备集成电路的测试领域，广泛使用接触测试式探针。现有的探针一般采用铼钨、钨钢、琴钢等材料，其中钨钢为最硬最耐磨的材料，其使用寿命通常可以达到100万次，其他材料制成的探针寿命一般为40～80万次。由于探针在使用过程中需要不断与测试板接触，对探针本身造成很大磨损，所以当探针达到一定的磨损程度后，就需要更换探针。另外地，一般会在探针外表面镀镍或者镀金，由于镍和金的材料均比较容易磨损，不利于提高探针的使用寿命。因此在测试领域中，由于现有的探针硬度不高、耐磨性能差，探针需要经常更换，造成测试成本高，测试效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术存在的不足，提供一种纳米涂层探针，解决了现有技术中探针硬度不高、耐磨性能差的问题，克服了测试成本高、测试效率低的缺陷。

本实用新型提供一种纳米涂层探针，包括探针主体、纳米涂层和绝缘涂层，所述纳米涂层包覆于所述探针主体外表面，所述探针主体包括测试部、连接部和固定部，所述绝缘涂层设于所述探针主体连接部对应的纳米涂层上，所述纳米涂层为纳米结构。

进一步地，所述纳米涂层为纳米氮化钛涂层，所述纳米氮化钛涂层包含纳米氮化钛颗粒。

进一步地，所述纳米氮化钛涂层的厚度为2～3μm。

进一步地，所述纳米涂层为纳米类金刚石涂层，所述纳米类金刚石涂层包含纳米类金刚石颗粒。

进一步地，所述纳米类金刚石涂层的厚度为1～3μm。

进一步地，所述探针主体由铼钨、钨钢、琴钢中的一种材料制成。

进一步地，还包括金属镀层，所述金属镀层包覆于所述纳米涂层外表面，所述绝缘涂层设于所述探针主体连接部对应的金属镀层上。

进一步地，所述金属镀层为镀镍层或者镀金层。

进一步地，所述绝缘涂层为聚氨酯层。

进一步地，所述绝缘涂层具有一定厚度，所述绝缘涂层在所述探针主体上形成第一绝缘层截面和第二绝缘层截面，所述第一绝缘层截面靠近所述测试部，所述第二绝缘层截面靠近所述固定部，所述测试部的端部与所述第一绝缘层截面之间的距离为第一距离，所述固定部的端部与所述第二绝缘层截面之间的距离为第二距离，所述第一距离与所述第二距离的长度相同。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供一种纳米涂层探针，在探针主体外表面包覆一层纳米涂层，本纳米涂层具有纳米结构，可为纳米氮化钛涂层或纳米类金刚石涂层，有效提高探针的硬度和耐磨性能，增加探针的使用寿命，降低测试成本，提高测试效率。

附图说明

利用附图对本实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。

图1是本实施例1的一种纳米涂层探针在一种实施方式下的局部结构中心剖面图。

图2是本实施例1的一种纳米涂层探针在另一种实施方式下的局部结构中心剖面图。

图3是本实施例1的一种纳米涂层探针在一种实施方式下的整体结构中心剖面图。