[实用新型]真空蚀刻机

权利要求书

1.真空蚀刻机，其特征在于：包括箱体(1)和旋转带动盘(2)，所述箱体(1)内壁中端设有旋转带动盘(2)，所述旋转带动盘(2)的内壁上下两端均固定连接有支撑架(4)，所述旋转带动盘(2)的内壁右侧固定连接有支撑架(4)，所述旋转带动盘(2)底段通过支撑架(4)设有左位喷淋电极箱(5)，所述旋转带动盘(2)顶段通过支撑架(4)设有右位喷淋电极箱(6)，所述旋转带动盘(2)右端通过支撑架(4)设有电控吸附箱(7)，所述电控吸附箱(7)的左端底段固定连接有第一吸附口(9)，所述电控吸附箱(7)的左端顶段固定连接有第二吸附口(10)，所述旋转带动盘(2)内壁中端设有定位放置盘(19)。

2.根据权利要求1所述的真空蚀刻机，其特征在于：所述左位喷淋电极箱(5)右端固定连接有电极喷液口(8)，所述右位喷淋电极箱(6)左端固定连接有电极喷液口(8)。

3.根据权利要求1所述的真空蚀刻机，其特征在于：所述旋转带动盘(2)外壁一周均匀设有齿槽(3)，所述箱体(1)顶段左端内壁设有驱动电机(11)，所述驱动电机(11)传动连接转轴(12)，所述转轴(12)外壁固定连接驱动齿轮(13)，所述驱动齿轮(13)由箱体(1)内壁啮合连接齿槽(3)。

4.根据权利要求1所述的真空蚀刻机，其特征在于：所述箱体(1)中端内壁底部设有承重轴(14)，所述承重轴(14)外壁固定连接从动齿轮(15)，所述从动齿轮(15)由箱体(1)内壁啮合连接齿槽(3)。

5.根据权利要求1所述的真空蚀刻机，其特征在于：所述箱体(1)内壁底段固定连接有操作台(16)，所述操作台(16)由箱体(1)内壁位于旋转带动盘(2)前端。

6.根据权利要求1所述的真空蚀刻机，其特征在于：所述箱体(1)前侧外壁上下两端设有铰链(17)，所述箱体(1)前侧外壁通过铰链(17)连接有箱门(18)。