[实用新型]一种用于单晶硅切片的研磨装置

权利要求书

1.一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)底部设置有支撑腿(2)，所述支撑板(1)顶部的两侧均固定安装有侧盒(3)，一个所述侧盒(3)的内安装有电机(21)，所述电机(21)输出端连接有丝杠(4)，所述丝杠(4)上螺纹连接有第一滑动块(5)，另一个所述侧盒(3)的内部固定安装有滑杆(6)，所述滑杆(6)中部套接有第二滑动块(7)，所述第一滑动块(5)和第二滑动块(7)之间固定安装有连接板(8)，所述连接板(8)的底部固定安装有漏斗(9)，所述漏斗(9)的底部固定连通有导管(10)，所述导管(10)的底端穿过所述支撑板(1)并连通有收集盒(11)。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述连接板(8)顶部的左右两端分别固定安装有固定装置(23)。

3.根据权利要求2所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述固定装置(23)包括固定块(24)，所述固定块(24)中螺纹连接有螺纹杆(25)，所述螺纹杆(25)外端连接有把手(26)，内侧连接有限位吸盘(27)。

4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述连接板(8)的顶部后方固定有支撑柱(15)，所述支撑柱(15)顶端固定安装有液压缸(16)，所述液压缸(16)的底端固定连接有固定盒(17)，所述固定盒(17)的内部固定安装有驱动电机(18)，所述驱动电机(18)的输出轴固定连接有转动轴(19)，所述转动轴(19)的另一端固定连接有研磨盘(20)。

5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述收集盒(11)连通有连接管(12)，所述连接管(12)的另一端固定连通有动力泵(13)，所述动力泵(13)的另一侧固定连通有引流管(14)，所述引流管(14)的另一端安装有喷头(22)。