[实用新型]一种用于单晶硅切片的研磨装置

说明书

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种用于单晶硅切片的研磨装置。包括支撑板，支撑板底部设置有支撑腿，支撑板顶部的两侧均固定安装有侧盒，一个侧盒的内安装有电机，电机输出端连接有丝杠，丝杠上螺纹连接有第一滑动块，另一个侧盒的内部固定安装有滑杆，滑杆中部套接有第二滑动块，第一滑动块和第二滑动块之间固定安装有连接板，连接板的底部固定安装有漏斗，漏斗的底部固定连通有导管，导管的底端穿过支撑板并连通有收集盒。本实用新型能实现连接板上下移动，从而可调整研磨盘与连接板之间的距离，方便对不同大小的工件研磨；能实现对工件的固定，防止在研磨过程中，由于工件移动导致研磨的质量变差，提高了该研磨装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种用于单晶硅切片的研磨装置。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等；单晶硅切片研磨，是指单晶硅切片通过研磨能去除切片和轮磨所造成的锯痕及表面损伤层，有效改善单晶硅切片的曲度、平坦度和平行度，达到一个抛光过程可以处理规格，现有技术都是利用研磨装置对单晶硅切片进行研磨。

现有的研磨装置中并没有固定待加工工件的装置，基本是将待加工工件放置在研磨装置上直接研磨，在研磨的过程中可能会造成待加工工件移动，导致研磨质量变差；并且现有的研磨装置的研磨盘一般都在固定位置对工件进行研磨，不能适用于不同大小的工件，适用范围较小。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅切片的研磨装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板，所述支撑板底部设置有支撑腿，所述支撑板顶部的两侧均固定安装有侧盒，一个所述侧盒的内安装有电机，所述电机输出端连接有丝杠，所述丝杠上螺纹连接有第一滑动块，另一个所述侧盒的内部固定安装有滑杆，所述滑杆中部套接有第二滑动块，所述第一滑动块和第二滑动块之间固定安装有连接板，所述连接板的底部固定安装有漏斗，所述漏斗的底部固定连通有导管，所述导管的底端穿过所述支撑板并连通有收集盒。

所述连接板顶部的左右两端分别固定安装有固定装置。

所述固定装置包括固定块，所述固定块中螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆外端连接有把手，内侧连接有限位吸盘。

所述连接板的顶部后方固定有支撑柱，所述支撑柱顶端固定安装有液压缸，所述液压缸的底端固定连接有固定盒，所述固定盒的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有转动轴，所述转动轴的另一端固定连接有研磨盘。

所述收集盒连通有连接管，所述连接管的另一端固定连通有动力泵，所述动力泵的另一侧固定连通有引流管，所述引流管的另一端安装有喷头。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1、本实用新型通过电机、丝杠、滑杆、第一滑动块和第二滑动块，能实现连接板的上下移动，从而可以调整研磨盘与连接板之间的距离，方便对不同大小的工件进行研磨，扩大了使用范围；

2、通过固定装置，能实现对工件的固定，使两个限位吸盘从侧面将待加工工件固定，防止在研磨的过程中，由于待加工工件的移动，导致研磨的质量变差，从而提高了该研磨装置的实用性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型整体的结构示意图；

图2是固定装置的结构示意图。