[实用新型]一种单晶硅片甩干烘干装置有效
| 申请号： | 202023139431.6 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN214039205U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王初林 | 申请（专利权）人： | 扬州善鸿新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B11/00;F26B21/00;F26B25/02;F26B25/12;B01D46/00 |
| 代理公司： | 扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙) 32469 | 代理人： | 李雯斐 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 片甩干 烘干 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶硅片甩干烘干装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内通过支撑轴转动安装有转动轴(2)，所述转动轴(2)为中空结构，所述转动轴(2)上固定安装有若干硅片放置架(3)，所述硅片放置架(3)的上下部均设有喷气板(4)，所述喷气板(4)的一端与所述转动轴(2)连通，所述转动轴(2)的顶端穿过所述箱体(1)顶部，且顶端口转动安装有进气管(5)，所述转动轴(2)的顶端上套装有从动齿轮(6)，且一侧设置有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出轴上安装有主动齿轮(8)，所述主动齿轮(8)与从动齿轮(6)啮合。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片甩干烘干装置，其特征在于：所述箱体(1)一侧设有硅片放取口(9)，所述硅片放取口(9)上安装有箱门(10)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片甩干烘干装置，其特征在于：所述喷气板(4)上间隔设有喷气口。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片甩干烘干装置，其特征在于：所述箱体(1)下端一侧安装有抽风机(11)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片甩干烘干装置，其特征在于：所述进气管(5)内设有气体过滤器。
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