[实用新型]一种单晶硅片甩干烘干装置

说明书

本实用新型提供一种单晶硅片甩干烘干装置，包括箱体，箱体内通过支撑轴转动安装有转动轴，转动轴为中空结构，转动轴上固定安装有若干硅片放置架，硅片放置架的上下部均设有喷气板，喷气板的一端与转动轴连通，转动轴的顶端穿过箱体顶部，且顶端口转动安装有进气管，转动轴的顶端上套装有从动齿轮，且一侧设置有驱动电机，驱动电机的输出轴上安装有主动齿轮，主动齿轮与从动齿轮啮合。本实用新型利用硅片放置架装夹单晶硅片并且通过旋转产生离心力分离水分的同时通过热风进行烘干，效率高，值得大力推广。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，具体为一种单晶硅片甩干烘干装置。

背景技术

单晶硅太阳电池是当前开发得最快的一种太阳电池，这种太阳电池以高纯的单晶硅棒为原料，纯度要求99.999％。单晶硅棒切成片后为单晶硅片，单晶硅片在清洗后需要对其进行烘干，现有技术中均是采用热风吹拂烘干，烘干效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片甩干烘干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片甩干烘干装置，包括箱体，所述箱体内通过支撑轴转动安装有转动轴，所述转动轴为中空结构，所述转动轴上固定安装有若干硅片放置架，所述硅片放置架的上下部均设有喷气板，所述喷气板的一端与所述转动轴连通，所述转动轴的顶端穿过所述箱体顶部，且顶端口转动安装有进气管，所述转动轴的顶端上套装有从动齿轮，且一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上安装有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合。

所述箱体一侧设有硅片放取口，所述硅片放取口上安装有箱门。

所述喷气板上间隔设有喷气口。

所述箱体下端一侧安装有抽风机。

所述进气管内设有气体过滤器。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1.本实用新型利用硅片放置架装夹单晶硅片并且通过旋转产生离心力分离水分的同时通过热风进行烘干，效率高，值得大力推广。

2.本实用新型硅片放置架的上下部均设有喷气板，喷气板的一端与所述转动轴连通，喷气板的长度及面积与硅片放置架上下部的长度及面积相匹配，使得喷气板可将热气体喷至硅片放置架的每部分，进而使得硅片放置架上的单晶硅片能够受到均匀的热气体，提高喷气的均匀性，同时可提高喷气的力度，提高烘干的速率，进而提高烘干的效率。

3.本实用新型进气管内设有气体过滤器，可过滤进入转动轴内的热气体，避免热气体中的杂质粘附在单晶硅片的表面，进而保持单晶硅片的表面的清洁。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型喷气板的结构示意图；

图中：1箱体；2转动轴；3硅片放置架；4喷气板；5进气管；6从动齿轮；7驱动电机；8主动齿轮；9硅片放取口；10箱门；11抽风机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。