[实用新型]一种盐酸石墨合成炉的气体分布组件

权利要求书

1.一种盐酸石墨合成炉的气体分布组件，其特征在于：包括设置在合成炉外侧的进气口（1）、设置在合成炉内部的气体导向管（2）、安装在所述气体导向管（2）外侧的气体分布器（3）及用于加速气体混合的搅拌器（4），所述进气口（1）包括氢气进气口（5）及氯气进气口（6），所述氢气进气口（5）与所述氯气进气口（6）在合成炉外侧呈正六边形结构交叉间隔分布，所述进气口（1）与所述气体导向管（2）相连通，所述搅拌器（4）为螺旋上升的圆形结构且位于合成炉的中心位置。

2.根据权利要求1所述一种盐酸石墨合成炉的气体分布组件，其特征在于:所述气体导向管（2）为石墨管，包括与所述进气口（1）方向相同的主导气管（21）及位于所述主导气管（21）两侧的导气支管（22），所述主导气管（21）与所述导气支管（22）的夹角为30°，所述主导气管（21）与所述导气支管（22）将合成炉分割成多个对称的气体反应模块。

3.根据权利要求2所述一种盐酸石墨合成炉的气体分布组件，其特征在于：所述气体分布器（3）包括套装在所述主导气管（21）外侧的主排气部（31）及套装在所述导气支管（22）外侧的侧排气部（32），所述主导气管（21）的出气口穿过且伸出所述主排气部（31）的外侧，所述导气支管（22）的出气口包含在所述侧排气部（32）的内部，所述主排气部（31）及所述侧排气部（32）为空心的矩形立方体结构。

4.根据权利要求3所述一种盐酸石墨合成炉的气体分布组件，其特征在于：所述气体分布器（3）的外侧分布有等距且规则的排气孔，所述主排气部（31）与所述侧排气部（32）的外圈排气孔多且密集，所述主排气部（31）与所述侧排气部（32）的夹角区域及端部位置的排气孔少且分散。

5.根据权利要求4所述一种盐酸石墨合成炉的气体分布组件，其特征在于：所述气体导向管（2）、所述气体分布器（3）及所述搅拌器（4）的外侧均设有一层防爆膜。