[实用新型]一种MAiA设备硅烷流量在线测试系统

权利要求书

1.一种MAiA设备硅烷流量在线测试系统，包括用于氮气进气的进气管一、硅烷进气的进气管三、中连管、右连管和标准计，所述进气管三连接有换向阀三，其特征在于：所述进气管一通过中连管连接右连管，所述右连管的另一端连接在进气管三上，所述换向阀三的另一个气口连接有后连管二，所述后连管二上分为若干分支管并最终连通至工艺腔体内部，所述右连管上设置有标准计，所述分支管上沿气体流向依次设置有待测计和气动阀五。

2.根据权利要求1所述的MAiA设备硅烷流量在线测试系统，其特征在于：所述标准计并联有两个。

3.根据权利要求1所述的MAiA设备硅烷流量在线测试系统，其特征在于：所述右连管上通过三通设置有与所述标准计并联的气动阀四，即右连管分为两个支路，在所述标准计的支路上、所述标准计的上下游分别设置有手动阀四和手动阀五。

4.根据权利要求3所述的MAiA设备硅烷流量在线测试系统，其特征在于：所述右连管整体排布呈矩形，所述标准计、手动阀四和手动阀五位于所述右连管围成的矩形内。

5.根据权利要求3或4所述的MAiA设备硅烷流量在线测试系统，其特征在于：包括底板，所述标准计、手动阀四、手动阀五和气动阀四均螺栓固定在所述底板上，所述底板的四角设置有用于安装底板的固定孔。

6.根据权利要求1所述的MAiA设备硅烷流量在线测试系统，其特征在于：所述进气管一上设置有手动阀一，所述进气管三上依次设置有手动阀三和气动阀三。

7.根据权利要求1所述的MAiA设备硅烷流量在线测试系统，其特征在于：所述进气管一连接有换向阀一，所述中连管连接所述换向阀一的另一个气口。

8.根据权利要求1所述的MAiA设备硅烷流量在线测试系统，其特征在于：所述进气管一和进气管三上下交错设置。

9.根据权利要求1所述的MAiA设备硅烷流量在线测试系统，其特征在于：所述中连管位于进气管三和右连管上方。