[实用新型]一种MAiA设备硅烷流量在线测试系统

说明书

本实用新型涉及一种MAiA设备硅烷流量在线测试系统，包括用于氮气进气的进气管一、硅烷进气的进气管三、中连管、右连管和标准计，所述进气管三连接有换向阀三，所述进气管一通过中连管连接右连管，所述右连管的另一端通过三通连接在进气管三上，所述换向阀三的另一个气口连接有后连管二，所述后连管二上分为若干分支管并最终连通至工艺腔体内部，所述右连管上设置有标准计，所述分支管上沿气体流向依次设置有待测计和气动阀五；本实用新型通过在待测计的上游增设标准计实现对待测计的对比测试，使得不需要拆下待测计即可进行待测计的在线检测，可现场应用，保证了待测计检测的便利性。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池片生产技术领域，具体涉及一种MAiA设备硅烷流量在线测试系统。

背景技术

MAiA是对衬底的一种制程工艺，即采用高效的背钝化(PERC)升级技术对衬底进行镀膜处理。硅烷(SiH₄)是太阳能电池片制造中最关键的气体之一，与氨气(NH₃)结合使用，形成用于a-Si晶体管的氮化硅层；与氮气(N₂)结合使用，形成用于LTPS晶体管的预准分子激光退火a-Si，或与氧化亚氮(N₂O)结合使用形成MO晶体管的氧化硅层。MAiA设备是利用MAiA工艺进行镀膜的操作的设备，MAiA设备通常设置有配套的气柜，在气柜内部通过阀门和管线布设气路，在进行镀膜的时候需要对进入工艺腔体的硅烷气体进行计量，需要通过流量计对硅烷的流量进行检测，但在流量计使用一段时间后需要进行校准，校准时一般的做法是将需要校准的流量计从MAiA设备上拆下，将流量计接入外部的流量计检测系统中进行校准，较为不便。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足而提供一种MAiA设备硅烷流量在线测试系统。

本实用新型的技术方案如下：

一种MAiA设备硅烷流量在线测试系统，包括用于氮气进气的进气管一、硅烷进气的进气管三、中连管、右连管和标准计，所述进气管三连接有换向阀三，所述进气管一通过中连管连接右连管，所述右连管的另一端通过三通连接在进气管三上，所述换向阀三的另一个气口连接有后连管二，所述后连管二上分为若干分支管并最终连通至工艺腔体内部，所述右连管上设置有标准计，所述分支管上沿气体流向依次设置有待测计和气动阀五。

进一步的，所述标准计并联有两个。

进一步的，所述右连管上通过三通设置有与所述标准计并联的气动阀四，即右连管(16)分为两个支路，在所述标准计的支路上、所述标准计的上下游分别设置有手动阀四和手动阀五。

进一步的，所述右连管整体排布呈矩形，所述标准计、手动阀四和手动阀五位于所述右连管围成的矩形内。

进一步的，所述MAiA设备硅烷流量在线测试系统还包括底板，所述标准计、手动阀四、手动阀五和气动阀四均螺栓固定在所述底板上，所述底板的四角设置有用于安装底板的固定孔。

进一步的，所述进气管一上设置有手动阀一，所述进气管三上依次设置有手动阀三和气动阀三。

进一步的，所述进气管一连接有换向阀一，所述中连管连接所述换向阀一的另一个气口。

进一步的，所述进气管一和进气管三上下交错设置。

进一步的，所述中连管位于进气管三和右连管上方。

本实用新型在进行待测计校准时，标准氮气依次通过中连管、标准计、换向阀三、后连管二、待测计和气动阀五达到工艺腔体，通过对比标准计和待测计之间的数值，来判断待测计的准确性；在进行正常工艺时，硅烷经进气管三、手动阀三、换向阀三、后连管二、待测计和气动阀五达到工艺腔体与其他气体配合进行镀膜。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：