[实用新型]散斑测量机台

权利要求书

1.一种散斑测量机台，其特征在于，包括：

台体，所述台体内放置有晶圆，所述晶圆具有多个衍射光学单元；

光发射装置，所述光发射装置安装于所述台体，所述光发射装置发射的光照射于所述晶圆的至少一个所述衍射光学单元，每个所述衍射光学单元被所述光照射时产生多个散斑；

检测装置，所述检测装置安装于所述台体且包括积分球和接收器，所述检测装置和所述光发射装置位于所述晶圆的相对两侧，所述检测装置对应所述散斑设置且用于获取所述散斑的光功率。

2.根据权利要求1所述的散斑测量机台，其特征在于，所述积分球具有间隔设置的进光孔和接收孔，所述接收器设于所述接收孔，所述进光孔的横截面为圆形。

3.根据权利要求1所述的散斑测量机台，其特征在于，所述光发射装置包括：

光源；

光驱动器，所述光驱动器与所述光源电连接，用于为所述光源提供驱动电流；

准直镜，所述光源发出的光经过所述准直镜射出；

二分之一波片，所述二分之一波片位于所述准直镜的背向所述光源的一侧，所述光经过所述准直镜后经过所述二分之一波片；

四分之一波片，所述四分之一波片位于所述二分之一波片的背向所述准直镜的一侧，所述光经过所述二分之一波片后经过所述四分之一波片。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的散斑测量机台，其特征在于，所述台体包括：

台架，所述光发射装置安装于所述台架；

放置盘，用于放置所述晶圆；

第一位移机构，所述第一位移机构安装于所述台架，所述放置盘安装于所述第一位移机构，所述第一位移机构带动所述放置盘相对于所述台架移动；

第二位移机构，所述第二位移机构安装于所述台架，所述检测装置安装于所述第二位移机构，所述第二位移机构带动所述检测装置相对于所述台架移动。

5.根据权利要求4所述的散斑测量机台，其特征在于，所述放置盘具有用于放置所述晶圆的放置槽，所述放置槽的底壁设有第一透光孔，所述放置槽的内周壁设有至少一个指孔。

6.根据权利要求4所述的散斑测量机台，其特征在于，所述晶圆设有定位缺口，所述放置盘设有与所述定位缺口配合的定位柱。

7.根据权利要求4所述的散斑测量机台，其特征在于，所述第一位移机构包括：

第一基座，所述第一基座安装于所述台架；

第一横向模块，所述第一横向模块沿第一方向可移动地安装于所述第一基座；

第一纵向模块，所述第一纵向模块沿第二方向可移动地安装于所述第一横向模块，所述放置盘安装于所述第一纵向模块；

其中，所述第一方向与所述第二方向垂直设置。

8.根据权利要求4所述的散斑测量机台，其特征在于，所述第二位移机构包括：

第二基座，所述第二基座安装于所述台架；

第二横向模块，所述第二横向模块沿第三方向可移动地安装于所述第二基座；

第二纵向模块，所述第二纵向模块沿第四方向可移动地安装于所述第二横向模块，所述检测装置安装于所述第二纵向模块；

其中，所述第三方向与所述第四方向垂直设置。

9.根据权利要求4所述的散斑测量机台，其特征在于，所述台架包括：

第一平台、第二平台和第三平台，所述第一平台、所述第二平台和所述第三平台层叠设置，所述第二平台位于所述第一平台和所述第三平台之间，所述光发射装置安装于所述第一平台，所述第一位移机构安装于所述第二平台，所述第二位移机构安装于所述第三平台，所述第二平台设有第二透光孔；

至少一个支撑柱，所述支撑柱分别与所述第一平台、所述第二平台和所述第三平台相连。

10.根据权利要求1-3中任一项所述的散斑测量机台，其特征在于，所述检测装置包括多个所述积分球和对应的多个所述接收器，多个所述积分球和多个所述接收器同时获取多个所述散斑的光功率。