[实用新型]散斑测量机台

说明书

本实用新型公开了一种散斑测量机台，所述散斑测量机台包括：台体，所述台体内放置有晶圆，所述晶圆具有多个衍射光学单元；光发射装置，所述光发射装置安装于所述台体，所述光发射装置发射的光照射于所述晶圆的至少一个所述衍射光学单元，每个所述衍射光学单元被所述光照射时产生多个散斑；检测装置，所述检测装置安装于所述台体且包括积分球和接收器，所述检测装置和所述光发射装置位于所述晶圆的相对两侧，所述检测装置对应所述散斑设置且用于获取所述散斑的光功率。根据本实用新型实施例的散斑测量机台能够直接获取晶圆的散斑的光功率，具有操作简单、测量精度高等优点。

技术领域

本实用新型涉及投影显示测量技术领域，尤其是涉及一种散斑测量机台。

背景技术

相关技术中的散斑测量机台，通常采用电荷耦合器件(Charge Coupled Device，CCD)摄像头拍摄晶圆的散斑影像，以分析晶圆的对比度、均匀度以及衍射效率，由于CCD摄像头只能拍摄特定角度射出的晶圆散斑，因此晶圆的散斑需要经过半透明材料制成的屏幕调整角度后，再由CCD摄像头拍摄，但是屏幕和CCD摄像头之间的相对位置需要校正,这样增加了操作步骤，降低了测量效率，并且晶圆的散斑在通过屏幕时，由于双向散射分布(Bidirectional scattering distribution)特性的存在,使得测量误差通常在10％以上,特别是晶圆的散斑的数量较少时，屏幕产生的误差对结果的影响更为严重。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种散斑测量机台，该散斑测量机台能够直接获取晶圆的散斑的光功率，具有操作简单、测量精度高等优点。

为了实现上述目的，根据本实用新型实施例提出了一种散斑测量机台，包括：台体，所述台体内放置有晶圆，所述晶圆具有多个衍射光学单元；光发射装置，所述光发射装置安装于所述台体，所述光发射装置发射的光照射于所述晶圆的至少一个所述衍射光学单元，每个所述衍射光学单元被所述光照射时产生多个散斑；检测装置，所述检测装置安装于所述台体且包括积分球和接收器，所述检测装置和所述光发射装置位于所述晶圆的相对两侧，所述检测装置对应所述散斑设置且用于获取所述散斑的光功率。

根据本实用新型实施例的散斑测量机台能够直接获取晶圆的散斑的光功率，具有操作简单、测量精度高等优点。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述积分球具有间隔设置的进光孔和接收孔，所述接收器设于所述接收孔，所述进光孔的横截面为圆形。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述光发射装置包括：光源；光驱动器，所述光驱动器与所述光源电连接，用于为所述光源提供驱动电流；准直镜，所述光源发出的光经过所述准直镜射出；二分之一波片，所述二分之一波片位于所述准直镜的背向所述光源的一侧，所述光经过所述准直镜后经过所述二分之一波片；四分之一波片，所述四分之一波片位于所述二分之一波片的背向所述准直镜的一侧，所述光经过所述二分之一波片后经过所述四分之一波片。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述台体包括：台架，所述光发射装置安装于所述台架；放置盘，用于放置所述晶圆；第一位移机构，所述第一位移机构安装于所述台架，所述放置盘安装于所述第一位移机构，所述第一位移机构带动所述放置盘相对于所述台架移动；第二位移机构，所述第二位移机构安装于所述台架，所述检测装置安装于所述第二位移机构，所述第二位移机构带动所述检测装置相对于所述台架移动。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述放置盘具有用于放置所述晶圆的放置槽，所述放置槽的底壁设有第一透光孔，所述放置槽的内周壁设有至少一个指孔。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述晶圆设有定位缺口，所述放置盘设有与所述定位缺口配合的定位柱。