[实用新型]薄膜体声波谐振器及滤波器

说明书

本申请公开的一种薄膜体声波谐振器，所述薄膜体声波谐振器包括：衬底和压电三明治结构，所述衬底具有凹槽，所述压电三明治结构至少部分悬设置于所述凹槽的上方，所述凹槽内设置有支撑结构，所述支撑结构至少部分为布拉格反射结构，所述支撑结构可以对压电三明治结构起到一定的支撑作用，提高其可靠性，且由于布拉格反射层的存在，所述当所述薄膜体声波谐振器工作时，可以一定程度上减小所述能量从所述压电三明治结构向所述支撑结构泄露。

技术领域

本申请涉及微电子器件技术领域，具体而言，涉及一种薄膜体声波谐振器及滤波器。

背景技术

无线通讯相关技术中，人们对于数据传输的要求越来越高。尤其是移动通信领域，随着3G、4G、5G以及未来发展中的6G时代的到来，其网络传输速率和网络容量将大幅提升。然而无线的空间是有限的，随着数据率上升对应的是频谱资源的高利用率以及通讯协议的复杂化，相应的对射频系统的各种性能也提出了较高的需求。在射频前端模块中，射频滤波器起到了至关重要的作用，在高频段可选择基于FBAR技术的滤波器，但是，相关技术中的薄膜体声波谐振器仍有改进的空间。

发明人认为，相关技术中的薄膜体声波谐振技术中，无论是形成“air bridge”或者是刻蚀形成空腔结构，压电堆叠结构和空气形成反射层都需要键合，可通过金属将压电结构与衬底键合，但是键合选用的金属经过时间累积应力累加之后可能产生断裂、脱焊等问题，导致谐振器不工作，或者使滤波器可靠性变差。发明人认为，该问题亟待解决。

实用新型内容

根据本申请的一个方面，提供一种薄膜体声波谐振器，所述薄膜体声波谐振器包括：衬底和压电三明治结构，所述衬底具有凹槽，所述压电三明治结构至少部分悬设置于所述凹槽的上方，所述凹槽内设置有支撑结构，所述支撑结构至少部分为布拉格反射结构。所述支撑结构可以对压电三明治结构起到一定的支撑作用，提高其可靠性，且由于布拉格反射层的存在，所述当所述薄膜体声波谐振器工作时，可以一定程度上减小所述能量从所述压电三明治结构向所述支撑结构泄露。

根据本申请的又一个方面，提供一种滤波器，所述滤波器由如上所述的声表面波谐振器串联和/或并联连接而成，所述滤波器的可靠性一定程度上得以提高。

本申请的有益效果将在以下具体实施方式中详细说明。

附图说明

图1是本申请一实施例薄膜体声波谐振器的结构示意图；

图2是图1中本申请实施例薄膜体声波谐振器沿A-A方向的剖面示意图；

图3是本申请实施例薄膜体声波谐振器中支撑结构的结构示意图；

图4是本申请另一实施例薄膜体声波谐振器的剖面示意图；

图5是本申请一示例性实施例的声表面波滤波器的电路示意图。

附图标记：

薄膜体声波谐振器100、200；压电三明治结构10；顶电极11；压电材料层12；底电极13；基底部20；凹槽30；支撑结构40、41、42、43、44、45；布拉格反射层60；缝隙部50；

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。