[实用新型]一种采用集成电路构造的空心线圈和电磁检测探头有效
| 申请号： | 202023169664.0 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN216082594U | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 邵文斌;崔洪岩;祁攀;廖述圣;罗玉文 | 申请（专利权）人： | 核动力运行研究所;中核武汉核电运行技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/72 | 分类号： | G01N27/72;G01N27/90;H01F27/28 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 集成电路 构造 空心 线圈 电磁 检测 探头 | ||
【权利要求书】：
1.一种采用集成电路构造的空心线圈，其特征在于，包括晶圆基体和在所述晶圆基体内的空心线圈金属层；所述空心线圈金属层至少两层，两两相邻的空心线圈金属层之间通过与其空间垂直的金属导线连接。
2.根据权利要求1所述的采用集成电路构造的空心线圈，其特征在于，所述金属导线之间的空间填充绝缘的晶圆基体材料。
3.根据权利要求2所述的采用集成电路构造的空心线圈，其特征在于，每层所述空心线圈金属层均为平面结构。
4.根据权利要求3所述的采用集成电路构造的空心线圈，其特征在于，每层所述空心线圈金属层的螺旋方向与相邻空心线圈金属层相反，且连接所述空心线圈金属层之间的金属导线的连接点在沿着空心线圈金属层重叠的方向上共线。
5.根据权利要求1所述的采用集成电路构造的空心线圈，其特征在于，所述空心线圈金属层为圆形、三角形、矩形或六边形。
6.一种电磁检测探头，其特征在于，所述电磁检测探头由权利要求1-5任意一项所述的空心线圈阵列排布而成。
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