[实用新型]一种采用集成电路构造的空心线圈和电磁检测探头

说明书

本实用新型具体涉及一种采用集成电路构造的空芯线圈和电磁检测探头，所述采用集成电路构造的空芯线圈包括晶圆基体和在所述晶圆基体内的空心线圈金属层；所述空心线圈金属层至少两层，两两相邻的空心线圈金属层之间通过与其空间垂直的金属导线连接。所述电磁检测探头由所述空心线圈阵列排布而成。本实用新型提供的采用集成电路构造的空芯线圈和电磁检测探头，能够满足电磁及涡流检测领域，尤其是阵列检查技术对于空芯线圈的高密度、小尺寸、多线圈要求。

技术领域

本实用新型涉及一种电感线圈，特别是涉及一种采用集成电路构造的空心线圈，以及基于所述空心线圈的电磁检测探头。

背景技术

空心线圈是一种可在高频下使用的电感器，其结构简单，性能卓越，线材规格广泛，被广泛应用于电视技术、音像技术、微波技术通讯发射和接收以及电源滤波等电子类产品中。

目前电磁及涡流检测领域使用的空心线圈多用漆包线绕制成；可用截面是圆形的、也可用截面是矩形的线材绕制；线两头就是电路图上面电感两级，此种绕制工艺较为简单，且材料易得、使用便捷。

但是随着电磁及涡流检测领域技术逐步发展，以及阵列检查技术(高密度、小尺寸、多线圈)的大规模应用，对空心线圈性能的要求也越来越高，尤其是在规格尺寸方面，在保证阻抗不变的情况下要求不断缩小线圈的规格，以提高检测探头的检测分辨率，这样就需要不断缩小漆包线的直径。而目前的漆包线为保证抗拉强度及避免过热熔断，其尺寸是有极限的(最小直径约0.01mm)，故其绕制的空心线圈也是有尺寸极限的。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有绕制工艺制备的空心线圈不能满足电磁及涡流检测领域，尤其是阵列检查技术对于空心线圈的高密度、小尺寸、多线圈要求的问题，提供一种集成电路构造的空心线圈，所述空心线圈利用集成电路 (integrated circuit，简称IC)制造，能够满足电磁及涡流检测领域，尤其是阵列检查技术对于空心线圈的高密度、小尺寸、多线圈要求。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种采用集成电路构造的空心线圈，其特征在于，包括晶圆基体和采用集成电路制作在所述晶圆基体内的空心线圈金属层。

进一步地，所述空心线圈金属层至少两层，两两相邻的空心线圈金属层之间通过与其空间垂直的金属导线连接，每层所述空心线圈金属层使用金属导线通过集成电路制作而成。

进一步地，所述金属导线之间的空间填充绝缘的晶圆基体材料。

进一步地，每层所述空心线圈金属层均为平面结构。

进一步地，每层所述空心线圈金属层的螺旋方向与相邻空心线圈金属层相反，且连接所述空心线圈金属层之间的金属导线的连接点在沿着空心线圈金属层重叠的方向上共线。

进一步地，所述空心线圈金属层为圆形、三角形、矩形或六边形。

进一步地，所述空心线圈金属层是通过金属层工艺制作在所述晶圆基体1 内的。

本实用新型还提供一种电磁检测探头，所述电磁检测探头由上述采用集成电路构造的空心线圈阵列排布而成。

使用上述电磁检测探头进行涡流电磁无损检测。

本实用新型的有益技术效果：

本实用新型提供的采用集成电路构造的空心线圈，能够满足电磁及涡流检测领域，尤其是阵列检查技术对于空心线圈的高密度、小尺寸、多线圈要求。

本实用新型提供的采用集成电路构造的空心线圈，构成所述采用集成电路构造的空心线圈的金属导线的直径可以做到微米级甚至纳米级别，这是传统漆包线空心线圈所无法达到的，在相同阻抗要求的前提下，本实用新型提供的采用集成电路构造的空心线圈的尺寸可以做的更小，在电磁检测和监测行业的应用前景更加广阔。