[实用新型]一种氮化铝粉体制备用坩埚有效

专利信息
申请号: 202023170612.5 申请日: 2020-12-24
公开(公告)号: CN214384451U 公开(公告)日: 2021-10-12
发明(设计)人: 尤勇;蒋学鑫;王韶晖 申请(专利权)人: 安徽壹石通材料科技股份有限公司
主分类号: F27B14/10 分类号: F27B14/10;C01B21/072
代理公司: 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 代理人: 管秋香
地址: 233400 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 氮化 体制 备用 坩埚
【权利要求书】:

1.一种氮化铝粉体制备用坩埚,包括埚体(1)与埚底(2),其特征在于:所述埚体呈中空柱状结构,由同心设置的内石墨壁(3)和外石墨壁(4)组成,埚底(2)与内石墨壁(3)、外石墨壁(4)之间形成反应腔体,内石墨壁和外石墨壁上设有气孔(5)。

2.根据权利要求1所述的氮化铝粉体制备用坩埚,其特征在于:所述埚体的横截面为圆形、方形、椭圆形中的一种。

3.根据权利要求1所述的氮化铝粉体制备用坩埚,其特征在于:所述内石墨壁(3)的外壁与外石墨壁(4)的内壁上均匀贴有多孔石墨碳毡(6)。

4.根据权利要求1所述的氮化铝粉体制备用坩埚,其特征在于:所述埚体(1)与埚底(2)是一体化结构。

5.根据权利要求1所述的氮化铝粉体制备用坩埚,其特征在于:所述气孔(5)呈均匀分布。

6.根据权利要求1所述的氮化铝粉体制备用坩埚,其特征在于:所述气孔呈圆形。

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