[实用新型]一种氮化铝粉体制备用坩埚

说明书

本实用新型公开了一种氮化铝粉体制备用坩埚，涉及坩埚技术领域，包括埚体与埚底，所述埚体呈中空柱状结构，埚体由呈同心圆设置的内石墨壁和外石墨壁组成，埚底与内石墨壁、外石墨壁之间形成反应腔体，内石墨壁和外石墨壁上设有气孔。本实用新型结构具有设计合理、操作简单、方便使用的优点，利用该坩埚制备的氮化铝粉体纯度高且均一；坩埚的中空柱状设计可以使反应气氛由外石墨壁扩散至物料内部，也可以使反应气氛由内石墨壁扩散至物料。

技术领域：

本实用新型涉及坩埚技术领域，具体涉及一种氮化铝粉体制备用坩埚。

背景技术：

氮化铝因具有良好的化学稳定性和热稳定性、高的热导率、高的机械强度、热膨胀系数与硅接近、易与其他半导体材料兼容、极低的绝缘性等优点，在电子元器件，光学器件的散热领域具有重要应用。目前在氮化铝的工业生产中通常采用方形坩埚进行制备，在大规模生产中方形坩埚不可避免存在因物料堆积过厚导致气氛扩散不充分，进而影响氮化铝纯度。

申请号201721637551.4的专利公开了一种氮化铝生产用坩埚，该坩埚采用方形组合拼接而成。当氮化铝物料堆积过厚时，存在反应气氛无法顺利扩散至物料中间，导致反应不完全的现象，且方形坩埚四边及底角存在气氛扩散死角，进一步影响氮化铝的纯度。

发明内容：

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种氮化铝粉体制备用坩埚，通过由内石墨壁和外石墨壁构成的埚体实现原料的充分反应，制得高纯度的氮化铝粉体。

本实用新型所要解决的技术问题采用以下的技术方案来实现：

一种氮化铝粉体制备用坩埚，包括埚体与埚底，所述埚体呈中空柱状结构，埚体由呈同心设置的内石墨壁和外石墨壁组成，埚底与内石墨壁、外石墨壁之间形成反应腔体，内石墨壁和外石墨壁上设有气孔。

所述埚体横截面可以是圆形、方形、椭圆形等形状。

所述内石墨壁的外壁与外石墨壁的内壁上均匀贴有多孔石墨碳毡。多孔石墨碳毡的设置不仅可以防止反应腔体中粉体的洒漏，还可以保证反应气氛的扩散。

所述埚体与埚底是一体化结构。

所述气孔呈均匀分布。气孔的均匀设置有助于反应气氛向物料内部进行均匀扩散。

所述气孔呈圆形。气孔的形状通常为圆形，但不限于圆形，其他形状的气孔只要可以通过气体即可。

以石墨加工制成埚体，可以充分利用石墨耐高温性和导热性好的特性，将煅烧热量高效传递给物料且使物料均匀受热；内石墨壁和外石墨壁上气孔的设置使物料能够均匀接触反应气氛，充分反应，解决了因物料与反应气氛接触不充分导致的氮化铝粉体纯度低以及存在反应死角等问题；并且反应产生的气体也可以通过气孔排出，促进反应的正向进行。

本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型结构具有设计合理、操作简单、方便使用的优点，利用该坩埚制备的氮化铝粉体纯度高且均一；坩埚的中空柱状设计可以使反应气氛由外石墨壁扩散至物料内部，也可以使反应气氛由内石墨壁扩散至物料。

(2)本实用新型在制备氮化铝粉体时，先将物料置于反应腔体中，再通过加热向物料传递热量，并通入反应气氛，反应气氛透过内石墨壁和外石墨壁上的气孔进入反应腔体与物料相接触，反应制得高纯度达到99％的氮化铝。

附图说明：

图1为本实用新型坩埚的俯视图；

图2为本实用新型埚体的主视图；

其中，1-埚体，2-埚底，3-内石墨壁，4-外石墨壁，5-气孔，6-多孔石墨碳毡。

具体实施方式：

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和图示，进一步阐述本实用新型。