[实用新型]一种金属深度刻蚀装置

权利要求书

1.一种金属深度刻蚀装置，其特征在于：包括激光器(1)、光线调节组件(2)和工作台(3)；所述激光器(1)水平设置，所述光线调节组件(2)可拆卸设置于激光器(1)的输出端部；所述工作台(3)设置于光线调节组件(2)的下方；通过调节光线调节组件(2)带动激光器(1)发射的光线对工作台(3)上的工件进行刻蚀；所述光线调节组件(2)包括呈角度设置于激光光路上的第一反射镜(2-1)，与第一反射镜(2-1)在同一水平面上的第二反射镜(2-2)，以及与第二反射镜在同一垂直平面上的场镜(2-3)；还包括竖直设置的第一电机(2-4)，以及水平设置的第二电机(2-5)；所述第一反射镜(2-1)设置于第一电机(2-4)的输出轴上，以竖直方向为轴心转动；所述第二反射镜(2-2)设置于第二电机(2-5)的输出轴上，以水平方向为轴心转动；所述激光器(1)包括在同一条激光光路上依次设置的泵浦光发射装置(1-1)、聚光腔(1-2)、Nd：YVO4晶体(1-3)、调Q组件(1-4)、谐振腔(1-5)、扩束组件(1-6)和双色镜(1-7)；所述双色镜(1-7)上端设置有红光指示器(1-8)；所述双色镜(1-7)呈45°设置于红光指示器(1-8)射出的红光与扩束组件(1-6)射出光线的交汇处。

2.根据权利要求1所述的一种金属深度刻蚀装置，其特征在于：所述聚光腔(1-2)包括沿光线发射方向依次设置的耦合透镜(1-2-1)和后腔镜(1-2-2)；所述耦合透镜(1-2-1)为两块凸面相对设置的单凸透镜；所述两块单凸透镜聚焦范围为25～45mm。

3.根据权利要求2所述的一种金属深度刻蚀装置，其特征在于：所述谐振腔(1-5)内设置有耦合输出镜(1-5-1)；所述耦合输出镜(1-5-1)通光孔径为26～28mm。

4.根据权利要求3所述的一种金属深度刻蚀装置，其特征在于：所述扩束组件(1-6)包括沿光线发射方向依次间隔设置的输入凹透镜(1-6-1)和输出凸透镜(1-6-2)；所述输入凹透镜(1-6-1)和输出凸透镜(1-6-2)间隔距离为50mm±5％。

5.根据权利要求1所述的一种金属深度刻蚀装置，其特征在于：还包括设置于激光器(1)一侧的高度调节组件(4)；所述高度调节组件(4)通过可调节的夹持件与激光器(1)连接，适于带动激光器(1)和光线调节组件(2)在垂直方向上运动。