[实用新型]一种金属深度刻蚀装置

说明书

本实用新型公开了一种金属深度刻蚀装置，包括激光器、光线调节组件和工作台；所述激光器水平设置，所述光线调节组件可拆卸设置于激光器的输出端部；所述工作台设置于光线调节组件的下方；通过调节光线调节组件带动激光器发射的光线对工作台上的工件进行刻蚀。本实用新型通过在激光器输出端部设置光线调节组件，用来控制激光在工作台上的运动，进而完成工件的刻蚀，结构巧妙，在保证激光强度的同时，增加了安全性能，且方便控制。

技术领域

本实用新型涉及激光加工设备领域，尤其涉及一种金属深度刻蚀装置。

背景技术

激光刻蚀装置是将从激光器发射出的激光，经光路系统，聚焦成高功率密度的激光束。激光束照射到工件表面，随着光束与工件相对位置的移动，最终使材料形成切缝，从而达到刻蚀的目的。

目前，激光刻蚀装置在工作过程中稳定性不高，工作效率低，激光刻蚀精度低，不利于使用。

因此，需要一种金属深度刻蚀装置，能够稳定的金属深度刻蚀，进而能有效提高工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的金属深度刻蚀装置工作稳定性低，工作效率低而提出的一种金属深度刻蚀装置。

实现本实用新型目的技术方案是：

一种金属深度刻蚀装置，包括激光器、光线调节组件和工作台；所述激光器水平设置，所述光线调节组件可拆卸设置于激光器的输出端部；所述工作台设置于光线调节组件的下方；通过调节光线调节组件带动激光器发射的光线对工作台上的工件进行刻蚀。

进一步地，所述光线调节组件包括呈角度设置于激光光路上的第一反射镜，与第一反射镜在同一水平面上的第二反射镜，以及与第二反射镜在同一垂直平面上的场镜；还包括竖直设置的第一电机，以及水平设置的第二电机；所述第一反射镜设置于第一电机的输出轴上，以竖直方向为轴心转动；所述第二反射镜设置于第二电机的输出轴上，以水平方向为轴心转动。

进一步地，所述激光器包括在同一条激光光路上依次设置的泵浦光发射装置、聚光腔、Nd：YVO4晶体、调Q组件、谐振腔、扩束组件和双色镜；所述双色镜上端设置有红光指示器；所述双色镜呈45°设置于红光指示器射出的红光与扩束组件射出光线的交汇处。

进一步地，所述聚光腔包括沿光线发射方向依次设置的耦合透镜和后腔镜；所述耦合透镜为两块凸面相对设置的单凸透镜；所述两块单凸透镜聚焦范围为25～45mm。

进一步地，所述谐振腔内设置有耦合输出镜；所述耦合输出镜通光孔径为通光孔径为26～28mm。

进一步地，所述扩束组件包括沿光线发射方向依次间隔设置的输入凹透镜和输出凸透镜；所述输入凹透镜和输出凸透镜间隔距离为50mm±5％。

进一步地，还包括设置于激光器一侧的高度调节组件；所述高度调节组件通过可调节的夹持件与激光器连接，适于带动激光器和光线调节组件在垂直方向上运动。

采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果：

(1)本实用新型通过在激光器输出端部设置光线调节组件，用来控制激光在工作台上的运动，进而完成工件的刻蚀，结构巧妙，在保证激光强度的同时，增加了安全性能，且方便控制。

(2)本实用新型通过使用第一电机和第二电机分别控制第一反射镜和第二反射镜，来实现激光刻蚀的移动，精准度高且后期维护保养方便快捷。

(3)本实用新型在同一条激光光路上依次设置泵浦光发射装置、聚光腔、Nd：YVO4晶体、调Q组件、谐振腔、扩束组件和双色镜，并通过双色镜使红光治指示器的红光与激光交汇，实现了激光的稳定输出，进而确保金属刻蚀的稳定。