[实用新型]一种FMM精细金属掩膜板有效
| 申请号： | 202023194029.8 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN215799838U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 罗云鹏 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 柯玉珊 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 fmm 精细 金属 掩膜板 | ||
【权利要求书】：
1.一种FMM精细金属掩膜板，其特征在于，包括掩膜版，所述掩膜版包括蒸镀像素格和减重槽；
所述减重槽位于所述掩膜版除所述蒸镀像素格之外的位置上；
所述减重槽位于所述蒸镀像素格的相邻列或相邻行之间。
2.根据权利要求1所述的一种FMM精细金属掩膜板，其特征在于，所述减重槽的深度小于或等于所述掩膜版厚度的二分之一。
3.根据权利要求2所述的一种FMM精细金属掩膜板，其特征在于，所述减重槽的深度为所述掩膜版厚度的二分之一或三分之一或四分之一。
4.根据权利要求1所述的一种FMM精细金属掩膜板，其特征在于，所述减重槽设置在所述掩膜版上与背板玻璃贴合的一侧。
5.根据权利要求1至4任一所述的一种FMM精细金属掩膜板，其特征在于，还包括掩膜框架、多个支撑条和多个遮挡条；
多个所述支撑条和多个所述遮挡条垂直交叉均匀焊接固定在所述掩膜框架内；
所述掩膜版焊接固定在所述掩膜框架内多个所述支撑条和多个所述遮挡条上。
6.根据权利要求5所述的一种FMM精细金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜版厚度为30μm、20μm或15μm。
7.根据权利要求5所述的一种FMM精细金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜框架、所述支撑条、所述遮挡条和所述掩膜版均为Invar合金。
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