[实用新型]在线温测真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202023215067.7 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN214400701U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 魏国军;张继朋;李景薇 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙) 11794 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 在线 真空镀膜 设备 | ||
1.一种在线温测真空镀膜设备，包括真空室(220)、工件架、镀膜装置、加热器(250)和温测装置，所述工件架、镀膜装置和加热器(250)设置在所述真空室(220)内，其特征在于：所述温测装置包括红外温测仪(280)和视窗(270)，所述视窗(270)将所述红外温测仪(280)隔离设置在所述真空室(220)外，所述视窗(270)对于所述红外温测仪(280)的工作波长而言是透明的。
2.如权利要求1所述的在线温测真空镀膜设备，其特征在于：还包括驱动装置(210)，所述驱动装置(210)与所述工件架固定连接，并驱动所述工件架转动。
3.如权利要求1所述的在线温测真空镀膜设备，其特征在于：所述工件架包括工件盘(230)和伞形罩(240)，所述工件盘(230)和伞形罩(240)固定连接，镀膜工件安装于所述伞形罩(240)。
4.如权利要求1所述的在线温测真空镀膜设备，其特征在于：所述真空室(220)壁上开设有开口，所述视窗(270)封堵安装在所述开口处，所述红外温测仪(280)与所述视窗(270)贴合。
5.如权利要求4所述的在线温测真空镀膜设备，其特征在于：所述视窗(270)通过压块封堵安装在所述开口处。
6.如权利要求4所述的在线温测真空镀膜设备，其特征在于：所述红外温测仪(280)通过真空室(220)壁上的螺钉支撑L型法兰固定，从而与所述视窗(270)贴合。
7.如权利要求1所述的在线温测真空镀膜设备，其特征在于：所述视窗(270)靠近所述真空室(220)的一侧前端设置有视窗保护装置。
8.如权利要求1所述的在线温测真空镀膜设备，其特征在于：还包括监控中心(290)，所述监控中心(290)与所述红外温测仪(280)连接，用于监控所述工件架上任一点的工件表面温度。
9.如权利要求1所述的在线温测真空镀膜设备，其特征在于：所述红外温测仪(280)的工作波长为0.8-1.0微米。
10.如权利要求1所述的在线温测真空镀膜设备，其特征在于：所述工件架位于所述真空室(220)上部，所述镀膜装置位于所述真空室(220)下部，所述温测装置位于所述真空室(220)下端。
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