[实用新型]在线温测真空镀膜设备

说明书

本实用新型的涉及一种在线温测真空镀膜设备，包括真空室、工件架、镀膜装置、加热器和温测装置，所述工件架、镀膜装置和加热器设置在所述真空室内，所述温测装置包括红外温测仪和视窗，所述视窗将所述红外温测仪隔离设置在所述真空室外，所述视窗对于所述红外温测仪的工作波长而言是透明的。通过本实用新型的技术方案，使得红外温测仪能够在线获得工件架上被镀膜工件表面各点的实时温度，保证了每个镀膜工件表面定位温度均匀，进而实现精确调整加热器功率，提升镀膜工件表面成膜质量。

技术领域

本实用新型一般地涉及镀膜设备，尤其涉及一种在线温测真空镀膜设备。

背景技术

在真空镀膜过程中，需要对真空环境进行加热，并且维持镀膜工件表面温度恒定，通过在线测量镀膜工件表面温度，实时调节加热功率，最终实现镀膜工件表面温度恒定。如图1所示，在对金属基片表面进行真空镀膜时，当真空室120内达到一定真空后，驱动装置110带动整个工件盘130转动，分布安装在伞形罩140上多个基片也随之做匀速转动，加热器160根据系统设置温度，热电偶150将温度反馈给系统，系统根据温度设置调节加热器160的功率，最终以热电偶150测得的温度为依据来取代每个基片上的温度。

为提升基片表面成膜质量，应保证每个基片表面定位温度均匀，单一的热电偶安放在固定位置，测量出来的温度默认为基片表面的温度，但该温度实际上只能代表该安装点的温度，虽然在调整初期会用表面机械温度计来纠正，但误差大，不能实时了解基片表面各点的温度分布，影响成膜质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种能够实时准确检测镀膜工件表面各点温度的在线温测真空镀膜设备。

本实用新型的目的是通过如下技术方案来完成的，一种在线温测真空镀膜设备，包括真空室、工件架、镀膜装置、加热器和温测装置，所述工件架、镀膜装置和加热器设置在所述真空室内，其特征在于：所述温测装置包括红外温测仪和视窗，所述视窗将所述红外温测仪隔离设置在所述真空室外，所述视窗对于所述红外温测仪的工作波长而言是透明的。

由于红外温测仪必须在正常室温环境下工作，通过视窗将红外温测仪隔离在真空室外，并且选择能够通过红外温测仪工作波长的视窗，使得红外温测仪既能够正常工作，又可以接收到真空室内工件架上的镀膜工件表面各点向外辐射的能量，从而在线获得工件架上镀膜工件表面各点的实时温度。

进一步地，本实用新型的在线温测真空镀膜设备，还包括驱动装置，所述驱动装置与所述工件架固定连接，并驱动所述工件架转动。

进一步地，本实用新型的在线温测真空镀膜设备，所述工件架包括工件盘和伞形罩，所述工件盘和伞形罩固定连接，镀膜工件安装于所述伞形罩。

进一步地，本实用新型的在线温测真空镀膜设备，所述真空室壁上开设有开口，所述视窗封堵安装在所述开口处，所述红外温测仪与所述视窗贴合。

进一步地，本实用新型的在线温测真空镀膜设备，所述视窗通过压块封堵安装在所述开口处。

进一步地，本实用新型的在线温测真空镀膜设备，所述红外温测仪通过真空室壁上的螺钉支撑L型法兰固定，从而与所述视窗贴合。

进一步地，本实用新型的在线温测真空镀膜设备，所述视窗靠近所述真空室的一侧前端设置有视窗保护装置。

进一步地，本实用新型的在线温测真空镀膜设备，还包括监控中心，所述监控中心与所述红外温测仪连接，用于监控所述工件架上任一点的工件表面温度。

进一步地，本实用新型的在线温测真空镀膜设备，所述红外温测仪的工作波长为0.8-1.0微米。

进一步地，本实用新型的在线温测真空镀膜设备，所述工件架位于所述真空室上部，所述镀膜装置位于所述真空室下部，所述温测装置位于所述真空室下端。

本实用新型通过上述技术方案，可以实现如下效果：