[实用新型]一种生成低电阻率超纯水的装置

权利要求书

1.一种生成低电阻率超纯水的装置，其特征在于，包括二氧化碳供给管路、超纯水供给管路、二氧化碳溶解装置，其中，所述二氧化碳溶解装置包括密闭的壳体、设置在壳体内的纤维膜管以及设置在壳体上的二氧化碳进口、二氧化碳出口、纯水进口、纯水出口，二氧化碳进口与二氧化碳出口与所述壳体导通，所述纯水进口与纯水出口与所述纤维膜管的两端分别连接导通，所述二氧化碳供给管路与所述二氧化碳进口相连，所述超纯水供给管路与所述纯水进口相连。

2.根据权利要求1所述的生成低电阻率超纯水的装置，其特征在于，所述二氧化碳供给管路包括送气管、手动球阀、超微油雾分离器、调压阀、数字压力表，所述手动球阀设置于所述送气管的气源进口处用于控制气源开闭，所述超微油雾分离器、调压阀、数字压力表顺序设置于所述送气管上。

3.根据权利要求1所述的生成低电阻率超纯水的装置，其特征在于，所述超纯水供给管路包括送液管、手动球阀、高精度颗粒过滤器、高精度数字流量计，所述手动球阀设置于所述送液管的气源进口处用于控制气源开闭，所述高精度颗粒过滤器、高精度数字流量计顺序设置于所述送液管上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的生成低电阻率超纯水的装置，其特征在于，在所述二氧化碳出口处连接有二氧化碳泄压管路。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的生成低电阻率超纯水的装置，其特征在于，所述纯水出口处设置有超纯水送出管路，并在所述超纯水送出管路中设置有电导率计，所述电导率计与现场控制器相连。