[实用新型]一种生成低电阻率超纯水的装置

说明书

本实用新型涉及一种生成低电阻率超纯水的装置，包括二氧化碳供给管路、超纯水供给管路、二氧化碳溶解装置，其中，所述二氧化碳溶解装置包括密闭的壳体、设置在壳体内的纤维膜管以及设置在壳体上的二氧化碳进口、二氧化碳出口、纯水进口、纯水出口，二氧化碳进口与二氧化碳出口与所述壳体导通，所述纯水进口与纯水出口与所述纤维膜管的两端分别连接导通，所述二氧化碳供给管路与所述二氧化碳进口相连，所述超纯水供给管路与所述纯水进口相连。本申请能够有效地将二氧化碳溶解于超纯水中，并能精确控制超纯水的电阻率，保证超纯水电阻率的高稳定性，从而确保最终产品的良品率。

技术领域

本实用新型涉及显示面板加工设备技术领域，特别是涉及一种生成用于清洗面板的低电阻率超纯水的装置。

背景技术

在显示面板制造过程中，常使用超纯水（UPW：Ultra- Pure Water）对产品表面进行工艺处理。但在特定的工艺段，如高压水洗段、二流体水洗段、HPMJ段，甚至普通的水洗单元，由于水体在管路内的流速非常快，水体与管路产生大量的摩擦并生成静电，同时由于超纯水具有很高的电阻率（电阻率18.0MΩ.cm），导致所产生的静电无法快速导出，景点随着超纯水一起喷洒至产品表面，对产品造成静电吸附污染、静电放电损伤等一系列异常。

因此，如何降低超纯水的电阻率是显示面板制造过程中提升产品良品率的一个重要措施。目前市场上常见的降低超纯水的电阻率的方法是通过射流器将二氧化碳溶解于水中，但溶解效率不高，无法准确控制超纯水的电阻率。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种生成低电阻率超纯水的装置，能够有效地将二氧化碳溶解于超纯水中，并能精确控制超纯水的电阻率，保证超纯水电阻率的高稳定性，从而确保最终产品的良品率。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种生成低电阻率超纯水的装置，包括二氧化碳供给管路、超纯水供给管路、二氧化碳溶解装置，其中，所述二氧化碳溶解装置包括密闭的壳体、设置在壳体内的纤维膜管以及设置在壳体上的二氧化碳进口、二氧化碳出口、纯水进口、纯水出口，二氧化碳进口与二氧化碳出口与所述壳体导通，所述纯水进口与纯水出口与所述纤维膜管的两端分别连接导通，所述二氧化碳供给管路与所述二氧化碳进口相连，所述超纯水供给管路与所述纯水进口相连。

对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。

可选地，所述二氧化碳供给管路包括送气管、手动球阀、超微油雾分离器、调压阀、数字压力表，所述手动球阀设置于所述送气管的气源进口处用于控制气源开闭，所述超微油雾分离器、调压阀、数字压力表顺序设置于所述送气管上。

可选地，所述超纯水供给管路包括送液管、手动球阀、高精度颗粒过滤器、高精度数字流量计，所述手动球阀设置于所述送液管的气源进口处用于控制气源开闭，所述高精度颗粒过滤器、高精度数字流量计顺序设置于所述送液管上。

可选地，在所述二氧化碳出口处连接有二氧化碳泄压管路。

可选地，所述纯水出口处设置有超纯水送出管路，并在所述超纯水送出管路中设置有电导率计，所述电导率计与现场控制器相连

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的生成低电阻率超纯水的装置，将纤维膜管设置于充满二氧化碳的高压环境下，纤维膜管中通入纯水，通过二氧化碳向纯水中的渗透压从而提高水中二氧化碳的溶解率，且可通过控制二氧化碳的通入量、控制壳体内二氧化碳的浓度及压力，实现对于纯水电阻率的控制，保证超纯水电阻率的高稳定性，进而实现对于最终产品良品率的保障。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：