[实用新型]石墨舟移料模组与反应炉有效
申请号: | 202023227261.7 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN214458311U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 余仲;李学文;刘兵吉;余梦成 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谢岳鹏 |
地址: | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 舟移料 模组 反应炉 | ||
1.石墨舟移料模组,用于石墨舟进出反应管,其特征在于,包括:
第一动力装置,包括第一动力件与第一连接件,所述第一动力件用于驱动所述第一连接件沿第一水平方向运动,所述第一水平方向与所述石墨舟进出所述反应管的方向平行;
至少两个第二动力装置,与所述第一连接件连接,所述第二动力装置包括第二动力件以及第二连接件,所述第二动力件用于驱动所述第二连接件沿竖直方向运动;
至少两个第三动力装置,分别连接于对应的所述第二连接件,包括第三动力件与第三连接件,所述第三动力件用于驱动所述第三连接件沿第二水平方向运动,所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直;
至少两个抓取装置,分别连接于对应的所述第三连接件,用于抓取所述石墨舟,各所述抓取装置沿竖直方向分布。
2.根据权利要求1所述的石墨舟移料模组,其特征在于,还包括存储装置,所述存储装置具有存储腔,沿所述第二水平方向移动至设定位置的所述抓取装置能够从所述存储腔内抓取所述石墨舟,或者将抓取的所述石墨舟放入所述存储腔内。
3.根据权利要求2所述的石墨舟移料模组,其特征在于,所述存储装置具有多个存储腔,多个所述存储腔沿竖直方向排布。
4.根据权利要求2所述的石墨舟移料模组,其特征在于,包括两个所述存储装置,沿所述第二水平方向,两个所述存储装置分别位于所述抓取装置的两侧。
5.根据权利要求2所述的石墨舟移料模组,其特征在于,在所述第一动力件驱动所述第一连接件运动时,所述抓取装置对准所述存储腔的开口,或者所述反应管的开口。
6.根据权利要求1所述的石墨舟移料模组,其特征在于,各所述第二动力装置能够独立驱动。
7.根据权利要求1所述的石墨舟移料模组,其特征在于,各所述第三动力装置能够独立驱动。
8.根据权利要求1所述的石墨舟移料模组,其特征在于,所述第二动力件为旋转电机,所述第二动力装置还包括与各所述第二动力件对应设置的丝杆与丝杆螺母,各所述丝杆并列设置,各所述第二连接件通过所述丝杆螺母连接于所述丝杆。
9.反应炉,其特征在于,包括:
权利要求1至8中任一项所述的石墨舟移料模组;
反应管,所述反应管的开口朝向所述抓取装置。
10.根据权利要求9所述的反应炉,其特征在于,所述反应炉包括多个沿竖直方向分布的所述反应管。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的