[实用新型]石墨舟移料模组与反应炉

说明书

本实用新型公开了一种石墨舟移料模组与反应炉，石墨舟移料模组包括第一动力装置、至少两个第二动力装置、至少两个第三动力装置与至少两个抓取装置：第一动力装置包括第一动力件与第一连接件，第一动力件用于驱动第一连接件沿第一水平方向运动，第一水平方向与石墨舟进出反应管的方向平行；第二动力装置包括第二动力件以及第二连接件，第二动力件用于驱动第二连接件沿竖直方向运动；第三动力装置包括第三动力件与第三连接件，第三动力件用于驱动第三连接件沿第二水平方向运动，第二水平方向与第一水平方向垂直；抓取装置用于抓取石墨舟，各抓取装置沿竖直方向分布。上述石墨舟移料模组能够提升工作效率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片制造领域，尤其是涉及石墨舟移料模组与反应炉。

背景技术

硅片表面加镀减反射膜是太阳能电池制造过程中非常重要的一环，PECVD反应炉是镀减反射膜的主要设备，制备时，首先需要将待反应的硅片及载具(石墨舟)放入反应管的反应腔内，然后将制作好减反射膜的硅片及载具送出反应腔，之后再将另一组未反应的硅片及载具放入反应腔进行新一轮的制作。相关技术中，用于石墨舟进出反应腔的进出舟机构效率低些，难以满足实际的生产需求。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种石墨舟移料模组，能够提升效率。

本实用新型还公开了应用上述石墨舟移料模组的反应炉。

根据本实用新型第一实施例的石墨舟移料模组，用于石墨舟进出反应管，包括：

第一动力装置，包括第一动力件与第一连接件，所述第一动力件用于驱动所述第一连接件沿第一水平方向运动，所述第一水平方向与所述石墨舟进出所述反应管的方向平行；

至少两个第二动力装置，与所述第一连接件连接，所述第二动力装置包括第二动力件以及第二连接件，所述第二动力件用于驱动所述第二连接件沿竖直方向运动；

至少两个第三动力装置，分别连接于对应的所述第二连接件，包括第三动力件与第三连接件，所述第三动力件用于驱动所述第三连接件沿第二水平方向运动，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直；

至少两个抓取装置，分别连接于对应的所述第三连接件，用于抓取所述石墨舟，各所述抓取装置沿竖直方向分布。

根据本实用新型实施例的石墨舟移料模组，至少具有如下有益效果：

本实施例的石墨舟移料模组中，设置有至少两个抓取装置，以及相应的动力装置，从而能够实现至少两个石墨舟在反应管中的进出料，以及石墨舟在存放位置的上下料，有助于提升工作效率。此外，抓取装置沿竖直方向分布，能够适用于沿竖直方向分布的多个反应管。

根据本实用新型的一些实施例，还包括存储装置，所述存储装置具有存储腔，沿所述第二水平方向移动至设定位置的所述抓取装置能够从所述存储腔内抓取所述石墨舟，或者将抓取的所述石墨舟放入所述存储腔内。

根据本实用新型的一些实施例，所述存储装置具有多个存储腔，多个所述存储腔沿竖直方向排布。

根据本实用新型的一些实施例，包括两个所述存储装置，沿所述第二水平方向，两个所述存储装置分别位于所述抓取装置的两侧。

根据本实用新型的一些实施例，在所述第一动力件驱动所述第一连接件运动时，所述抓取装置对准所述存储腔的开口，或者所述反应管的开口。

根据本实用新型的一些实施例，各所述第二动力装置能够独立驱动。

根据本实用新型的一些实施例，各所述第三动力装置能够独立驱动。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二动力件为旋转电机，所述第二动力装置还包括与各所述第二动力件对应设置的丝杆与丝杆螺母，各所述丝杆并列设置，各所述第二连接件通过所述丝杆螺母连接于所述丝杆。