[实用新型]真空腔体氦检装置

权利要求书

1.一种真空腔体氦检装置，其特征在于，包含：

前级管路，所述前级管路的第一端连通真空腔体；

检测支路，所述检测支路的第一端连通所述前级管路，所述检测支路的第二端具有连通氦气检漏仪的接口，所述检测支路的第一端和其第二端之间设有开关阀。

2.根据权利要求1所述的真空腔体氦检装置，其特征在于，所述前级管路的第二端连接真空泵。

3.根据权利要求1所述的真空腔体氦检装置，其特征在于，所述前级管路上设有预留接口，所述检测支路的第一端连通所述预留接口。

4.根据权利要求3所述的真空腔体氦检装置，其特征在于，所述预留接口具有第一管径，所述检测支路具有第二管径，所述检测支路的第一端通过转换接头连通所述预留接口，所述转换接头第一端具有与预留接口相配合的以第一管径为配合尺寸的第一接头端，所述转换接头第二端具有与检测支路的第一端接口相配合的以第二管径为配合尺寸的第二接头端。

5.根据权利要求1至4其中之一所述的真空腔体氦检装置，其特征在于，所述开关阀为手动阀或动力阀或电磁阀。

6.根据权利要求1至4其中之一所述的真空腔体氦检装置，其特征在于，所述检测支路的第二端的接口与所述氦气检漏仪的仪器入口可拆卸地连接。

7.根据权利要求6所述的真空腔体氦检装置，其特征在于，所述检测支路的第二端的接口与闷盖可拆卸地连接。

8.根据权利要求1所述的真空腔体氦检装置，其特征在于，所述真空腔体氦检装置用于化学气相沉积反应设备。

9.根据权利要求1所述的真空腔体氦检装置，其特征在于，所述真空腔体包含传输腔体和载入腔体。

10.根据权利要求9所述的真空腔体氦检装置，其特征在于，所述前级管路数量为至少二条，所述检测支路数量为至少二条。