[实用新型]一种硅棒转移设备及其机械手防前倾装置

说明书

本申请公开了一种机械手防前倾装置，包括至少可对机械手的前部表面进行按压的按压部件，所述按压部件的一端可转动式连接于所述机械手所属设备的主体上且利用所述设备本身的驱动部件进行驱动，且所述驱动部件用于在所述机械手释放夹持物体时驱动所述按压部件旋转离开所述机械手，且在所述机械手抓紧夹持物体时驱动所述按压部件旋转接触并按压所述机械手。本申请还公开了硅棒转移设备，包括上述机械手防前倾装置，因此能在转移硅棒的过程中避免发生硅棒前倾的状况，最大限度上保证硅棒的安全性，保证产品品质不会降低。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，更具体地说，涉及一种硅棒转移设备及其机械手防前倾装置。

背景技术

硅棒转移机械手在转移硅棒的过程中，如果翻转气缸出现漏气严重的情况，机械手小臂会发生前倾，这样有硅棒掉落或者碰到其他硅棒导致倒炉拆炉的风险，而且还会导致硅棒表面混入杂质，影响最终产品的品质。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅棒转移设备及其机械手防前倾装置，能在转移硅棒的过程中避免发生硅棒前倾的状况，最大限度上保证硅棒的安全性，保证产品品质不会降低。

本实用新型提供的一种机械手防前倾装置，包括至少可对机械手的前部表面进行按压的按压部件，所述按压部件的一端可转动式连接于所述机械手所属设备的主体上且利用所述设备本身的驱动部件进行驱动，且所述驱动部件用于在所述机械手释放夹持物体时驱动所述按压部件旋转离开所述机械手，且在所述机械手抓紧夹持物体时驱动所述按压部件旋转接触并按压所述机械手。

优选的，在上述机械手防前倾装置中，所述按压部件的侧面还有两个小臂，用于对所述机械手的侧面形成包围。

优选的，在上述机械手防前倾装置中，所述驱动部件为气缸。

优选的，在上述机械手防前倾装置中，所述按压部件的一端铰接于所述机械手所属设备的主体上。

优选的，在上述机械手防前倾装置中，所述按压部件设置于所述机械手的靠近上部的区域。

本实用新型提供的一种硅棒转移设备中，包括如上面任一种机械手防前倾装置。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的上述机械手防前倾装置，由于包括至少可对机械手的前部表面进行按压的按压部件，所述按压部件的一端可转动式连接于所述机械手所属设备的主体上且利用所述设备本身的驱动部件进行驱动，且所述驱动部件用于在所述机械手释放夹持物体时驱动所述按压部件旋转离开所述机械手，且在所述机械手抓紧夹持物体时驱动所述按压部件旋转接触并按压所述机械手，而且本实用新型所提供的硅棒转移设备由于包括上述装置，因此能在转移硅棒的过程中避免发生硅棒前倾的状况，最大限度上保证硅棒的安全性，保证产品品质不会降低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的一种机械手防前倾装置的实施例的示意图。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种硅棒转移设备及其机械手防前倾装置，能在转移硅棒的过程中避免发生硅棒前倾的状况，最大限度上保证硅棒的安全性，保证产品品质不会降低。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。