[实用新型]一种用于管式镀膜设备的炉门结构及镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202023248974.1 申请日: 2020-12-28
公开(公告)号: CN214881816U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 刘正超;杨保枋;易辉;彭碧;周塘华 申请(专利权)人: 湖南红太阳新能源科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 张园
地址: 410205 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 镀膜 设备 炉门 结构
【权利要求书】:

1.一种用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,包括炉门(1)、匀流板(2)和隔套(3),所述匀流板(2)通过隔套(3)与炉门(1)的内壁相连,所述炉门(1)的内壁和匀流板(2)之间存在间距,所述匀流板(2)上开设有多个通孔。

2.根据权利要求1所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述隔套(3)为内部空心的圆柱体,所述匀流板(2)通过紧固件固定在所述隔套(3)上。

3.根据权利要求1所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述隔套(3)至少为3个,所述隔套(3)均匀布置在炉门(1)的内壁上。

4.根据权利要求1所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述匀流板(2)为圆形板,所述多个通孔沿圆形板不同半径的圆周方向均匀间隔分布。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述匀流板(2)与炉门(1)的内壁之间间距为10mm~30mm。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述匀流板(2)的厚度为1mm~2mm。

7.根据权利要求1至4任意一项所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述匀流板(2)上分布的通孔数量为100~300个。

8.根据权利要求1至4任意一项所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述通孔的孔径大小为2mm~6mm。

9.一种镀膜设备,其特征在于,包括炉管(4),所述炉管(4)的炉口处安装有如权利要求1至8任意一项所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,所述炉门(1)与炉管(4)之间还设有进气机构(5)。

10.根据权利要求9所述的镀膜设备,其特征在于,所述进气机构(5)为环形法兰,所述环形法兰上开设有多个出气孔。

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