[实用新型]一种用于管式镀膜设备的炉门结构及镀膜设备有效
申请号: | 202023248974.1 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN214881816U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 刘正超;杨保枋;易辉;彭碧;周塘华 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳新能源科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 张园 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 镀膜 设备 炉门 结构 | ||
1.一种用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,包括炉门(1)、匀流板(2)和隔套(3),所述匀流板(2)通过隔套(3)与炉门(1)的内壁相连,所述炉门(1)的内壁和匀流板(2)之间存在间距,所述匀流板(2)上开设有多个通孔。
2.根据权利要求1所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述隔套(3)为内部空心的圆柱体,所述匀流板(2)通过紧固件固定在所述隔套(3)上。
3.根据权利要求1所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述隔套(3)至少为3个,所述隔套(3)均匀布置在炉门(1)的内壁上。
4.根据权利要求1所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述匀流板(2)为圆形板,所述多个通孔沿圆形板不同半径的圆周方向均匀间隔分布。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述匀流板(2)与炉门(1)的内壁之间间距为10mm~30mm。
6.根据权利要求1至4任意一项所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述匀流板(2)的厚度为1mm~2mm。
7.根据权利要求1至4任意一项所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述匀流板(2)上分布的通孔数量为100~300个。
8.根据权利要求1至4任意一项所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,其特征在于,所述通孔的孔径大小为2mm~6mm。
9.一种镀膜设备,其特征在于,包括炉管(4),所述炉管(4)的炉口处安装有如权利要求1至8任意一项所述的用于管式镀膜设备的炉门结构,所述炉门(1)与炉管(4)之间还设有进气机构(5)。
10.根据权利要求9所述的镀膜设备,其特征在于,所述进气机构(5)为环形法兰,所述环形法兰上开设有多个出气孔。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的