[实用新型]一种掩膜板有效
| 申请号： | 202023257221.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214168106U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 黄苒;赵博华 | 申请（专利权）人： | 天津市滨海新区微电子研究院 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 李蓓蕾 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区骊*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：基板(1)和遮挡板(2)；
所述基板(1)和若干个所述遮挡板(2)一体化设置；
所述遮挡板(2)上开设有若干个凹槽(3)，所述凹槽(3)的厚度尺寸和所述遮挡板(2)的厚度尺寸相同；
所述遮挡板(2)的厚度为小于10纳米。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜板，其特征在于，所述基板(1)的厚度为10-100纳米。
3.根据权利要求1所述的一种掩膜板，其特征在于，所述凹槽(3)的宽度尺寸和与所述基板(1)相抵设置的硅晶圆的各个像素的宽度尺寸相同。
4.根据权利要求3所述的一种掩膜板，其特征在于，每一所述凹槽(3)的形状设置为条状；
每一所述凹槽(3)的长度均相同。
5.根据权利要求4所述的一种掩膜板，其特征在于，各个所述凹槽(3)平行设置。
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